四探针的测试仪作业指导书.doc

SDY-4型四探针测试仪作业指导书 1.0 版本Rev. 编写人Prepared by 编写日期Prepared Date 审核人Checked by 审核时间Checked Date 批准人Approved by 批准日期Approved Date 目 录 一. 目 的 ………………………………………………………………………… 003 二. 范 围 ………………………………………………………………………… 003 三. 职 责 ………………………………………………………………………… 003 四. 名 词 定 义 ………………………………………………………………………… 003 五. 内 容 ………………………………………………………………………… 003 六. 安 全 ………………………………………………………………………… 005 七． 设 备 材 料 ………………………………………………………………………… 005 八. 相 关 文 件 ………………………………………………………………………… 005 九. 记 录 ………………………………………………………………………… 005 1. 目的：规范四探针测试仪的操作与维修保养工作。 2. 范围：适用于车间内四探针测试仪的操作与维修保养工作。 3. 职责： 3.1 负责扩散后方块电阻的测试。 3.2 规范操作，为测试数据规范化提供依据。 3.3 负责发现扩散后硅片质量、工艺异常状况时的反映。 4名词定义： 4.1 SDY-4型四探针测试仪 内容: 5.1 仪器介绍： SDY-4型四探针测试仪是根据单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M标准设计的半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)测试专用仪器.仪器以大规模集成电路为核心部件,采用平面轻触式开关控制,及各种工作状态LED指示.应用微计算机技术，利用HQ－710E型测量数据处理器，使得测量读数更加直观、快速，整套仪器体积小、功耗低、测量精度高、测试速度快、稳定性好、易操作。 本仪器可满足半导体材料、器件的研究生产单位对材料(棒材、片材)电阻率及扩散层、离子注入层、异型外延层和导电薄膜方块电阻测量的需要。 5.2 仪器电气原理如图（1）所示： 220V电 滤波 恒流 电流选档 样品 A/D 显示 源滤波 稳压 换相控制 测试 转换 图(1)仪器电气原理框图 5.3 SDY-4型四探针测量原理如图（2)所示： 将四根排成一条直线的探针以一定的压力垂直地压在被测样品表面上，在l、4探针间通以电流I(mA)，2、3探针间就产生一定的电压V(mV)(如图1)。测量此电压并根据测量方式和样品的尺寸不同，计算样品的电阻率或方块电阻: 图（2）直线四探针法测试原理图 5.4 仪器面板说明如图（3）所示： SDY-4型四探针测试仪主要由主机（电气测量装置）和测试台组成，两部分独立放置，通过连接线联接。 ⑨ ⑩ ① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ 图（3）主机前面板说明 按键和旋钮说明如下： ①---主机数字及状态显示器； ②、③、④、⑤---测量电流量程选择按键，共四个量程（0.1mA、1mA、 10mA、 100mA）； ⑥---R□/ρ测量选择按键，开机时自动设置在“R□”位； ⑦---测量电流方式选择按键，开机时自动设置在“I”（电流）位； ⑧---电流换向按键； ⑨---电流粗调电位器； ⑩---电流细调电位器； 5.5 使用方法仪器： 首先按照说明连接四探针探头与SDY-4主