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LED_固态照明及空气,水净化用深紫外
Deep Ultraviolet Light Emitting Diodes with
Emission Below 300 nm
By : Prof. Asif Khan
Depa rtment of Electrical Engineering, University of South Carolina,
asif @engr.sc.edu
Outline
1. South Carolina Research Program
2. State-of-the-art LED devices
3. Deep UV LED Applications
Work supported by DARPA SUVOS (Dr. Henryk Temkin) and ARO (Dr. John Zavada)
Photonics Microelectronics Lab
20, 000 sq. f t. clean rooms
Materials Op tical Test Electrical Test
Matl. Testing Device Package
Lithography Device Process
PML
PML GaN-AlGaN Research Team
Prof essor Asif Khan
Matl. Growth Scientists Students Support
R
Dr. Jinwei Yang
Ms. Z. Gong Mr. D. Johnson
E
Dr. Chen
S Mr. A. Sattu Ms. Dedman
Mr. B. Zhang
E Matl. Test Ms. Osborne
Mr. J. Dion
A
Dr. Hongmei Wang
R Ms. J. Zhongyuan
Dr. Mikhail Gaevski
C
Device Process Mr. S. Chhajed
H
Dr. Vinod Adivarahan
Mr. M. Islam
Ms. I . Mokina
T Mr. S. Srivastava
Dr. Wang
E Device Test
Ms. Y. Li
A
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