各种表面曲率半径之压痕研究IndentationStudyofSurfaceswith.PDF

吳鳳學報 第二十期 各種表面曲率半徑之壓痕研究 Indentation Study of Surfaces with Various Radii 1 2 2 譚仲明 ，張承濬 ，陳建安 1 光機電暨材料研究所 2 吳鳳科技大學 摘要 進行有限元素模擬，分析具表面曲率的壓痕試驗。本質上任何一個面是有一定弧 度，傳統的硬度試驗是在一個平面上進行，但當曲率半徑明顯時，需要重新評估。模擬 結果表示，硬度不具有很強的表面曲率半徑依賴性，Oliver-Pharr 方法高估了硬度。有限 元素法模擬的結果也顯示表面曲率半徑的影響，可以通過使用真正的接觸面積，評估硬 度予以消除。 關鍵詞 ：壓痕試驗，硬度，表面曲率，有限元素法 Abstract A surface is intrinsically with certain curvature. The traditional characterization of hardness based on a flat surface needs to be reevaluated when the effect of curvature is significant. This paper conducts finite element analysis to address the indentation with surface curvature. The simulation results indicate that the hardness does not have strong surface curvature radius dependence and Oliver-Pharr scheme overestimates the hardness. The finite element simulations also show that surface curvature radius effect can be eliminated by using the true contact area to evaluate the hardness. Keywords ：indentation, hardness, surface curvature, FEM. 一、前言 Nanoindentation( 奈米壓痕試驗 已變成一個用於辨識薄膜和奈米薄膜力學特性的重) 要方法 [1-4] 。直覺地，可能會懷疑曲面上的壓痕試驗是否影響其測量的結果，當然這是 一個重要的問題必須進行壓痕的測試來回答。所有曲面在顯微鏡下都是粗糙的，根據傳 統硬度的測試是在一個平面上進行的，當曲率的影響明顯時必須重新評估，當設備的特 徵長度降低時呈現了表面曲率對硬度特性的影響。, Bobji 和 Biswas [5-8]顯示了球形表 面與球形的壓痕器可從這樣的一個計算公式估計硬度：  R  H Hs1 i  (1)  R   a  其中 H 是光滑平坦的表面,R和 R 是硬度壓痕頭與表面粗糙的半徑。我們以前的研究 s i a 中曾指出金屬壓痕尺寸效應，其中壓痕的硬度增加或減少，可以用真實的接觸面積來評 估硬度予以消除。因此，本文針對使用類似的方法，探討單一個粗糙峰接觸問題。在這 篇文章中，我們進行有限元素模擬，探討表面曲率半徑的影響。此外審查了著名的 Oliver-Pharr 方法是否仍然有效。