结合水洗活性炭法处理半导体制程含氟气尾气之研究成果报告.PPTVIP

計畫成果自評 1.本研究探討以水洗式/活性碳法處理製程F2 尾氣，早期由於F2 為具毒性氣體因此遇到諸多困難。非常感謝台禹公司的大力協助(包含廠地提供、儀器及人力協助等)，讓本實驗得以順利進行。 2.本研究的成果將可利及應用於元太及台積電製程F2 尾氣的改善專案中。 3.本研究關於以活性碳添加對於系統出口溼度及副產物之影響目前結果不明顯，有待進一步深入研究。 “ ” “ ” 結合水洗/活性炭法處理半導體製程含氟氣尾氣之研究成果報告(精簡版) 專題老師：李崑池 老師 學生：楊心宇 日期：104.12.03 摘要 由於近年來因應製程需要，進行蝕刻及清潔時解離率逐漸提高，進而 導致製程尾氣中氟氣所佔比率偏高，如果氟氣未經有效處理，將會造 成處理設備後段管路因氟氣腐蝕破裂，導致氟氣外洩進而危害人體。 因此本研究結合水洗法及活性炭法進行氟氣處理，探討系統參數氟 氣濃度、活性碳添加量及種類氟氣反應行為之影響，以提供業者高效 率且低成本處理氟氣的處理設備。結果顯示以目前商業化處理系統配 合參數調整及活性碳選擇，結合水洗式/活性碳法可以有效處理製程氟 氣尾氣，其效率可高達 100%。另外以單獨水洗式亦可以有效處理製 程氟氣尾氣 目前本系統效率可高達 90%，活性碳的選擇對於結合水 洗式/活性碳法處理氟氣之去除效率有顯著之影響。 1-1.以水洗法處理F2 以水洗式濕式除塵器處理 F2，目前被部分應用於IC等的製程， 以下僅就學者的相關研究進行說明： a.由 Appelman and Thompson 兩位學者的研究顯示，F2 會與水進行以下反應，研究中並提及 F2 無法快速有效地與水進行反應。 F2 + H2O → HF + HOF -------(1) HOF + H2O → H2O2 + HF -------(2) F2 +H2O2 → O2 + HF -------(3) HOF+H2O2 → O2 + HF+ H2O -------(4) b.另外由 Appelman and Hache 兩位學者的研究顯示， F2會與水進行以下反應，產生 HOF 及 OF2，加上此反應為放熱反應，導致以水洗法處理並不被廣泛採用。但問題是目前以水洗式 、加熱/水洗式 local scrubber 及電漿/水洗式 local scrubber 處理製程機台尾氣均會面臨對以上問題。 F2 + HOF → HF + OF2 -------(5) 濕式除塵器受限於無塵室空間限制，因此 F2 於濕式除塵器的停留時間介於 0.5~1秒，以目前濕式除塵器後段 管線受 F2 腐蝕，導致管線破裂進而造成 F2 及 HF 外洩的現象顯示， F2 無法於此停留時間下，與水有效進行反應。 1-2.以水洗/添加劑法處理F2 由於多筆資料顯示，F2 與 水反應過程中會產生 OF2，因此設備廠商於F2與 水的反應過程添加化學品，以降低 OF2 之濃度，實驗結果也顯示添加化學品於 F2/水 系統中，可以有效降低 OF2 的濃度，但因為 (1).技術報告中並未載明使用何種化學品以降低系統中OF2，是藉由化學品與水競爭F2，或是化學品與 OF2進行反應。 (2).技術報告未載明F2 於濕式除塵器中的停留時間因此無法有效判斷 local scrubber 之功能性。 (3).目前於產業上，尚未見到公司商業化的產品，因此其效能仍須仔細評估。 1-3.以活性碳法處理F2 在多年以前，台大環工所蔣本基教授嘗試結合活性炭及O3 進行 有機物處理，結果發現當通入O3 氣體進入活性炭時，管柱內發 生起火現象，此顯示活性炭與O3 之反應劇烈且為放熱反應。 Hallway 與Nakajima 的研究中說明，F2 與活性炭之反應為放 熱反應，且反應激烈並進一步導致燃燒，此也同時說明可能由 於O3 與F2 均具有強氧化力，因此均會與活性炭進行劇烈反 應。Watanable 等作者的文章提及，F2 與活性炭反應，會進一 步燃燒。Del Cul 等作者的研究中也提及， F2 與活性炭反應， 會於固體表面生成的產物以氟化碳為主，因此直接以活性炭處 理F2，由於會產生燃燒問題，因此商業化local scrubber 不會 直接採用活性炭進行F2 處理。 總結 本研究採用水