有机敏感材料梳状电极电容SO2传感器的研究.pdfVIP

第巧卷 第4期 郑州轻工业学 院学报 (自然科 学版 ) Vol.15 No.4 2000年 12月 JOURNALOFZHENGZHOUNISTITUTEOFLIGHTINDUSTRY(NaturalScience) D- 2000 文，.号;1004一1478(2000)04一0024一03 ·气体传 感 . 研 究 。 有机敏感材料梳状电极电容S02传感器研究 李 丽，王 道，刘显武 (北京工业大学环境与能浑工程攀院，北京 100022) 摘要:利用So:能与有机物中的某些基团形成可逆的弱加和物、改史电介质的介电常数、使电 容发生史化的特点，创备出新型s0:气体传感器·这种传感各对SO:的灵教度和选择性校高， 具有良好的再砚性和德定性，响应时间校姐，其有广泛的应用前景. 关.阂:传感器;二氧化硫;气歌器件;有机歌感材料;杭状电极电容 中圈分类号:T212;0614 文做标识码to 0 引言 60年代，Flood等人首先使用高温原电池技术洲定SO:浓度.在此基础上，经过七人十年代的研究，现在 用气体电极作参比电极，使用固态电解质的高沮原电他侧定空气中SO,浓度的方法，已用于实际工作中.但 其操作复杂，条件苛刻，工作沮度高，难以普及.侧f大气中SO:含f的另一种方法是利用UV和IR光谱技 术，该方法虽然侧f结果准确，但仪器运行维护费用高，难以进行实时原位的侧f.近年来，利用SO=能与有 机物中的某些基团形成可逆的弱加和物、改变电介质的介电常数、使电容发生变化的特点，制备出的新型 so:气体传感器已引起广泛的关注. 1 梳状电极电容so:化学传感器的基本原理 此类传感器是一种气敏介质薄膜传感器，由对sor敏感的薄腆电容器和一个信号处理回路组成.其传 感原理建立在彼吸收的so:分子与敏感膜之间相互作用的基础上，当其.耳于气体中时，俩极间的相互作 用影晌电介性质，继而导致薄膜型梳状电极电容((IDC)的电容变化.这样，so:的浓度变化可以通过洲t电 容值来确定.电容得传感器信号的徽小变化是由敏感膜上的so:的吸附表现出来的;这一变化对于干扰极 为教感，与通常形式的标准翰出信号又不相对应，不适于传递和进一步加工，孺将电容传感器信号转化成更 适于洲t和传翰的电信号如电压，这一过程可通过适当的信号调节来完成. 2 梳状电极电容的结构和制备 IDC是化学传感器重要的羞本元件，它同时适用于导电率和电容的改变值的侧定，可对不同的涂扭技术 (截射，自旋涂砚，峨射等)硬载的致密、多孔的敏感物作出评估，且制备价格低廉，因此已在气体传感器上成 功地应用 在中国科学院徽电子中心进行光刻制版后，在经过饭化的硅片上可制备成如图1所示的IDC.在此基 质上，再以惯用的薄膜技术制成梳状金属电极电容器 每个电极的宽度为15fun，长度为1200Wm,厚度为 1.6Km，极与极之间的间晾为15pin一 个元件包含200对电极.其后将硅片经包封焊技术I于印制电路板 收. 日翔:2000一07一10 灌器乳掌吝9汽(19奥7缈5-)籍:}c认.97it装%;4ka}-/(8}9,92itD052)业大，二，与。，二，，二在。，士研生‘，。从。。。 术研 宪. 第 4鹅 李 百，移:有机饮感材料拢状电极电容50.传 ‘t研究 .25. 上，留出侧t用接点. 这种 11X二结构扭盖各种不同的教 感材料，可以用来探侧不同的化学物质， 杂多甚权挂 其导电性或介电常掀会随被侧物质浓度 ‘盆(硅片) 的改变面改变.对于有一气软班盖薄层 的气体传感吕，因其功能是建立在表面 圈1 1DC的基本结构 效应上的，可以将平面llX一作为墓本结