亚波长周期结构与多层增透膜反射特性的比较-光学精密工程.pdfVIP

第9 卷　第 1 期　 光学　精密工程 Vol. 9, No. 1 2 0 0 1 年 2 月 O P T IC S AN D PR EC IS ION EN G IN EER IN G F eb. , 200 1 ( ) 文章编号　1004924X 200 1 0 100 1004 亚波长周期结构与多层增透膜反射特性的比较 鱼卫星, 卢振武, 王　鹏, 翁志成 ( 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春　130022) 摘要: 为解决光学系统中普遍存在的菲涅耳反射问题, 利用严格耦合波法设计、分析了一种三维轮廓亚 波长结构, 然后把计算结果同多层反射膜的增透特性进行了比较, 结果表明该结构在很宽的波段上尤其 是远红外波段上的抗反射特性要远远好于多层膜, 其反射率基本上能控制在 0. 2% 以内; 并且这种结构 反射率的变化随入射光波入射角的偏离在 40 °以内能保持在 1% 以下, 而多层膜只能在 30 °以内勉强做 到这一点。 关　键　词: 耦合波; 亚波长; 多层增透膜 中图分类号: O 484. 4　　文献标识码: A 对膜层的化学侵蚀以及高温时相邻薄膜材料之间 [2 ] 1　引　　言 的化学反应也是薄膜应用的一个不利因素 。所 有这些不利条件都使得薄膜的应用受到了很大的 　　菲涅耳反射对许多光学系统来说都是一个非 限制。近来随着微光学技术的飞速发展, 使得人们 常不利的因素, 尤其是红外光学系统。在这些系统 可以得到微米级甚至是小于微米级的线宽, 这样 中通常使用的材料为硅片, 而硅片在不考虑吸收 就出现了所谓的亚波长结构元件。这种结构是通 时对垂直入射平面波的反射率达到 30% 以上, 使 过激光直写、离子束刻蚀机等装置在光学系统的 得红外光学系统的光接收能力大大地降低, 从而 表面加工出位相具有二元变化的表面浮雕结构。 影响了观测等功能的实现。一般来说, 对这种影响 这种结构具有同光学系统共形、轻便、且几乎不受 的消除是通过在光学元件的表面镀多层增透薄膜 外界环境因素的影响的诸多优点。对于这种元件 来实现的。然而镀膜所涉及工艺的复杂性和该过 来说由于其周期小于入射波长, 所以通常情况下 程中所发生的各种物理、化学效应的影响都会对 的标量衍射理论已不能适用, 取而代之的是矢量 多层膜带来各种不利因素。首先由于自然界中可 衍射理论。一般来说对这种结构的计算方法分为 供选择的材料是如此的有限, 以致于人们总不能 积分法和微分法, 而耦合波法属于微分法。 实现完全消除反射这种理想情况。况且, 由于随着 本文设计了一种简单锥形轮廓的亚波长二维 所镀多层膜膜厚的增加, 会使得膜系中出现较大 表面浮雕结构, 然后采用严格的耦合波法对其衍 的张应力或者压应力, 这样一来就会导致膜层中 射特性进行了矢量分析, 最后同多层膜反射系统 出现云片状的裂纹甚至有时使得膜从衬底上剥 进行了比较, 结果表明这种结构在很宽的波段上 [ 1 ] 基本上可以完全消除菲涅耳反射。 落 。另外, 薄膜有时在高温下或很低温度下应 用, 或被暴露于温度突变的环境中应用, 而温