035μm增强型135V高压工艺平台研发与优化研究.pdfVIP

第三章增强型高压器件的工艺建立及其优化…………………………．13 3．1相关生产制程的介绍…………，……………………………………13 3．213．5V高压工艺流程整合与相关模块建立和优化…………………………23 3．2．1硅片的选择……………………………………………………．24 3．2．2初始对准层与阱区建立……………………………………………24 3．2．3硅的局部氧化隔离层的建立与优化…………………………………．．26 3．2．5栅极工艺优化与PIP制程建立………………………………………31 3．2．7接触刻蚀工艺模块优化…．．：…．…………………………………．．37 3．2．8金属层和钝化层模块……………………………………………．．40 第四章相关器件的构成和可靠性…………………………………．．42 4．1高压13．5V器件……………．‘j………：…………………………．．42 4．2低压3．3V器件……………………………………………………49