扫描电镜背散射衍射数据处理系统研究.pdfVIP

扫描电镜背散射衍射数据处理系统 孙丽虹．张希顺 北京有色金属研究总院北京10088 一．课题来源 “扫描电镜背散射衍射数据处理系统”是国家科技部组织的科研条件工作项 目(课题编号：JG．2000．31)。 扫描电镜是当今得到普遍应用的大型分析仪器，广泛应用于材料科学、生命 科学、微电子学、农业、环境、地矿、医学、刑侦检查等众多领域，是进行显微 观察及成分分析的重要手段。扫描电镜电子背散射衍射装置及背散射衍射数据处 理系统是用于获取块状样品中各种大小晶粒的晶体结构、晶粒fBJ的取向关系等晶 体学信息。这一技术的开发和研制扩展了扫描电镜的应用范围，使扫描电镜不仅 能对材料进行形貌观察和成分分析，而且也能对材料进行晶体结构、晶粒取向等 晶体学特征的分析。使晶体材料的组织、成分和取向一一对应起来，将研究材料 的形貌、成分和结构在扫描电镜上有机的联系起来。 二．国内外发展现状 在扫描电镜中安装电子背散射衍射装置并接收分析材料的晶体学信息，是八 十年代末兴起的一种技术，‘；用：该技术可以做多方面的工作，例如： 1．测量研究晶体材料的晶粒取向和晶粒间的取向关系，并获得晶体微结构的信