化学微传感器技术和应用2.pdfVIP

三综尔述 摘要：本文综述了生物 ／化学微传感器的技术和应用，详细描述了起源于半导体技术的标准工艺流程 和制造三维机械结构的特殊微细机加工工艺，给出了基本化学传感器原理和对应的化学 ／生物传感器 应用实例，最后提出了单片集成化学 ／生物微传感器系统，包括单一芯片上传感器结构和运转电路。 关键词：化学 ／生物传感器；CMOS；IC技术；集成传感器；微电子机械系统 (MEMS)；微制造技 术 中图分类号：TP212．2；TP212．3 文献标识码：A 文章编号：1006—883X(2008)11-0006—08 _ 史永基 高雅利 四、生物 ／化学传感器的微制造结构 化学传感器通常由敏感层和传感器组成 11,12]。由于敏感层与化学物质的相互作用 (如吸收、化学反应、 电荷转移等)，其生化性质 (如质量、体积、光学性质、电阻率)发生可逆变化。敏感层的这些变化对应 的探测器探测并转换为电信号 (如频率、电流或电压)，然后读出并作进一步的信号处理。 用作化学敏感层的无机材料和有机材料涂在各种不同的传感器上 1『，诸如用来监测氧气、一氧化碳和 氧化氮等气体减少量的电子传导氧化物 (如 SnO2)是典型的无机材料 ，离子传导氧化物 (如 EtO2)用来 确定氧化氮和氨气。大部分有机层 由导电或非导电聚合物 (如聚硅氧烷、聚氨酯或聚苯胺)组成，用于监 测氢气、卤素化合物和其他毒性挥发有机物。不同的敏感材料及其运转条件 (如高温)对传感器设计提 出 了某些特殊的要求，因此，特殊的敏感材料将与对应的传感器结构一起讨论。 按照传感原理化学传感器可 以分为四大类：质敏传感器 (例如吸收型的质量变化)、热传感器 (经由 化学相互作用的温度变化)、光传感器 (如吸收引起的光强度变化)、电化学传感器 (电荷转移引起的电势 或电阻的变化)。下面依次加以介绍。 l、质敏传感器 最简单的质敏传感器是重力仪传感器，测量传感层中积累的质量 l【。传感器的某些附加元件传感与其 表面接触的固体或液体介质的各种其他机械性质 (始聚合物弹性模量、液体密度和速度的变化)。因此质 量敏传感器又称为化学机械传感器。原则上，这种传感器可以探测任何固定在传感器上的物质。大部分化 学传感器都是工作于热力学平衡态条件下的。 质量变化的监测方法是：测量由于应力或质量负荷的变化所引起的微机械结构的偏转、检测谐振结构 或质量负荷上行进声波频率的变化。因为微机械结构的偏转与应力变化成正比，谐振频率的变化与传感元 件上质量负荷的变化成正比。 最常用的化学一机械传感器是厚度切变模谐振仪 (TSMR)、石英微天平 (QMB)、Rayleigh声表面波 (RAW)元件 。这三种化学 机械传感器的基片都是压电石英晶体。此外，切变水平声波模元件、切变横向 波元件和Love波元件也要求采用优选晶体 (如石英、铌酸锂或钛酸锂)基片。 传惑舔毡界 2 潞．11 ww 尊en每O Iond毒Om．Crl 黪 黪 i鳙 Review ～ 一 下边详细介绍两种基于半导体工艺技术的质敏微传感 激光束 【探测悬臂梁的偏转或谐振频率的变化。悬臂梁的 器：柔型板波动元件或Lamb波元件、微机械悬臂粱。 绝对质量分辨率为几微微克。 (1)Lamb波元件 悬臂梁的制造主要按以下步骤进行：整体微细机加工 Lamb波元件的主要优点是低频 (3-10MHZ)运转时 (背面腐蚀以获得膜结构)、利用RIE法产生悬臂梁、涂膜 探测灵敏度极高。柔性波板的厚度约为 2-3]．tm (仅为声波 灵敏层、淀积生物组织。 波长的几分之一)。波板是由氮化硅层、铝基面和氧化锌压 基于 CMOS的悬臂梁可与反馈电子仪器进行单片集 电层组成的具有复合结构、支持基片的硅片。复合柔性板 成。典型应用包括利用聚合物层探测气相有机挥发气体或 上的数字码间隔电极产生 Lamb波，使复合波板产生一系 湿度，或液相生物敏物质，还可探测低聚合甘酸的辅助成 列的振动模，其 中之一的振动频率远低于其它所有可能的