任意厚度微带线带条的准静态参数分析研究.pdfVIP

200 5’全国微波毫米波会议论文集 任意厚度微带线带条的准静态参数分析 傅佳辉 吴群 秦月梅 杨彩田 (哈尔滨工业大学电子与信息技术研究院，黑龙江哈尔滨150001) Email：t]h@hit．edu．cn 摘要：本文提出了一种分析任意金属带条厚度的微带线的方法。该方法采用了保角 的分析计算方法。所获得的分析结果与仿真工具计算结果能够准确吻合。通过这种分析 方法，获得了任意金属厚度微带线阻抗和耦合微带线的奇偶模阻抗计算公式。本文为 RF MEMS无源器件的理论分析和建模提供了新方法。 关键词：微带线；保角变换法；RFMEMS；阻抗 1 引言 平行耦合微带线广泛的应用到定向耦合器、滤波器和延迟线[1】。在分析和设计这些 相关元件时，准静态阻抗和有效介电常数是最重要的参数。但现存的一些解决这样问题 的解析方法和数值方法，都将微带线带条的金属厚度假设为零。目前，高速发展的射频 微电子机械系统(RF MEMS)无源器件已经逐步在射频领域得到越来越广泛得应用。而由 RF MEMS所构成的微带线需要高表面率，即中心带条的高度和宽度可以比拟[2]，而且， 采用MEMS工艺制作电路时，最大的金属厚度可达到10倍的带条宽度。因此，在微波 毫米波电路的精确建模中，厚度不能忽略，否则将会产生严重的误差。尽管我们在众多 文献中可以得到耦合微带线的不同设计公式，但其中只考虑了有限的金属厚度，其限定 条件是远小于带条宽度【3]。 本文针对MEMS工艺制作的毫米波无源器件建模中的问题，提出采用保角变换理 论分析微带传输线，采用这种分析方法的优点是能够得到封闭解析表达式，便于建立面 向CAD的微带线的数学模型。目前，在一些文献中，使用保角变换分析方法都是采用 近似的公式，而这些公式又很难求出其解析解。本文介绍了求解任意厚度的耦合微带线 换工具箱。SC变换是保角变换的一种特殊形式，广泛的应用到同轴、微带线和共面波 导。通过变换可以得到各种传输线闭式的特性参数【4】。 2 任意金属带条厚度微带线的建模 图1(a)是具有带条厚度的耦合微带线的几何结构模型。此结构参数包括两个完全 相同宽度为W的信号线，缝隙宽度为S，介质衬底的厚度为h，介电常数为函。带条和 地板假设为无限长，所有的导体为理想导体。在这种假设下，此结构为两个标准的准 TEM模式，奇模和偶模。分析中采用分别分析奇模和偶模的方法。于是可以得到图1(b) 结构。奇模时，中心对称位置为电壁；偶模时，中心对称位置为磁壁。 1561 2005’全国微波毫米波会议论文集 ▲” I∥ I E “广]C·En 兰口!：!e (j Bl D C日B’G G’ 写D 。 F． ￡， H A 』 H‘ j 皇 !L． I盯1 (6) Fig．1(计耦合微带线的几何结构 (b)偶模结构 H-A．B．C-D．D·一D”．C，．E．F到t平面的上半平面，f平面的上半平面的对应点位0tA tB七‘缸妇，在