平板式大面积放电射频激励CO2激光器小信号增益分布测试及分析研究.pdfVIP

、 激《光杂志》1999年第20卷第5期 LASERJOURNAL(Vo1.20,No.5.1999) 047 平板式大面积放电射频激励C02激光器小信号增益分布洲赌及分析 张向苏 刘 守 (厦门大学物理学系，厦门 361005) 提弃:此研究结果表明这类激光器的小信号增益分布与气休流速有关。在静止气体或非常慢速流动下，小信号增益分布取决 子气体温度的分布;而当气休流速增加到一定数值后，小信号增益分布则1R决于气体速度在放电管内的分布。 关健词:射频激励以飞激光器 大面积放电，小信号增益分布.气体流速 j丁一 Measurementandanalysisofsmallsignalgaindistributionin aplanar,largeareadischarge,RFexcitedCO2laser 刀nttgxiarsgsv 工to段uu (apt.o(Phy-,Xi- Unrv.,Xiar- 361005) Abstract;Thedistributionofshellsigpelgaininaplanar,largeerrsdischarge,RFexcitedCOralserwasmeasuredandanalyzed.The resulesshowthattheshallsignalgaind回butionofsuch1a_iscloselyrelatedtogasflowrate.Understaticorveryslowgasfolw,smell signalgaindistributiondependsontemperaturedistributioninthedischargechannel.WhereaswhentheflowrateinaueasestoaIt电herlev e1,srnallsignalgaindisrtibutiondependsongasvelociytdistribution Keywads;RFexcitedC02laser,largeareadLebargc,snallsignalgaindistribution,gasflowrate 1 引言 动非常缓慢的情况，并假设两电极之间的电子密度和 小信号增益是激光器最重要的参数之一。如果其 枪人功率的损耗都是均匀的。SUarpt2〕也获得了相似的 它参数不变，小信号增益直接决定了激光器输出功率 试验结果。他们都指出，由于靠近两电极的地方沮度 的大小。所以当一种新型结构的激光器产生时，知道 最低，所以小信号增益最大。 它的小信号增益及分布特性对共振腔设计和激光器工 本文介绍对平板式、自由空间放电结构的射频激 作条件设置都是很有意义的。射颇激励激光器允许大 励CO:激光器小信号增益分布的侧试方法，并对侧试 面积放电，所以小信号增益的横向分布是个重要参数。 结果进行了分析。研究结果表明，参考文献1,2中报 到目前为止，对射频激励C01M光器小信号增益分布 导的研究结果对于两电极距离较远且气体流动康魔a 的研究报导很少。其中最详细的一篇要数Parazrnli和 对较快的射频激励)(飞激光器是不适用的。 Chichi〕的文章。他们研究的是静止工作气体或气体流 2 激光器放电管结构及输出情况 . 1 | I w e . 、TtskWmtf,ta,},}:JTta.一比袋 . ‘ . 图 1激光器截吻图 图2 气体在激光箱