压电式谐振传感器.docVIP

第七章 声表面波传感器 声表面波(Surface Acoustic Wave)是19世纪80年代瑞利研究地震波时发现的，简写为SAW，是一种能量集中于媒质表面、沿表面传播、其振幅随深度呈指数衰减的弹性波。通常在压电晶体的表面设置叉指换能器(IDT)来激励和检测声表面波。SAW传感器主要利用SAW振荡频率特性受外界力学量、热学量、电学量、化学量和生物量的影响而变化的机理来达到检测物理量、化学量和生物量的目的。SAW传感器具有分辨率高、灵敏度高、可靠、一致性好、制造简单等优点，是当代传感器的重要支柱之一。 SAW传感器的基本原理 SAW传感器的基本原理是，在压电材料表面形成叉指换能器，构成SAW振荡器或谐振器，适当设计SAW振荡器或谐振器，使其对微细的待测量敏感。一般是使待测量作用SAW的传播路径，引路SAW的传播速度发生变化，从而使振荡频率发生变化， 通过频率的变化检测待测量。由于是频率输出，很容转换成数字形式，有利于高精度测量与计算机接口。 SAW振荡器 图7.1 SAW振荡器 SAW振荡器由一组SAW发射、接收叉指换能器和反馈放大器组成。如图7.1所示。由发射换能器发射的表面波经媒质延迟被接收换能器接收。接收的信号经放大器放大，再反馈到发射换能器构成振荡回路。当放大器的增益可以补偿延迟线的损耗同时又满足一定的相位条件时，振荡器就可以起振。其振荡条件是 和 式中，A是放大器增益；是SAW延迟线的传播损耗；是IDT的双向损耗；是放大器和IDT之间的变换损耗。 ；是放大器通配网络和IDT的相移； l为收发换能器的距离；v为波速。通常相应的延迟相移，所以，起振的相位条件可写为 (7.1) 7.1.2 SAW谐振器 SAW谐振器由IDT和栅格反射器组成。 栅格反射器是在压电基片表面上设置的栅阵和沟槽等，其声阻抗不连续。当表面波在基片上传播时，在声阻抗不连续区(反射器)产生相干反射。若适当设计栅格反射器的长度和位置，即选择谐振腔长度，则在腔体内形成驻波，能量被封闭在腔体内。如果按某种方式从腔体中取出能量，便可得到谐振器，类似体波振子的谐振状态。 (a)双端对 (b)单端对 图7.2谐振器的两种形式 图7.2所示为谐振器的两种形式，即双端对(图7.2(a))和单端对(图7.2(b))。它们的区别是，单端对仅有一IDT同时负担发送和接收信号的职能；双端对则有两个IDT，一个发送信号，另一个接收信号。双端对又有两种结构，即IDT置于两端的内腔式(如图7.3(a))和IDT置于中间的外腔式(如图7.3(b))。 图7.3 双端对的两种结构 7.2 SAW压力传感器 图7.4为SAW压力传感器的原理结构图。其SAW延迟线的基片很薄，在压力作用下，SAW传播路径的长度以及SAW的波速都要发生变化，由式(7.1)可知，二者的变化都会引起振荡频率的偏移，由偏移量的大小就可检测出基片所受压力的大小。 图7.4 SAW压力传感器原理结构 图7.5 双振荡器结构 一般压电材料都有一定的温度系数，温度变化引起的频偏往往超过压力变化引起的频偏，必须对温度变化引起的频偏进行补偿。一种较简便解决办法是采用双振荡器结构，如图7.5所示，图中二振荡器输出馈入混频器，得到差频，经低通滤波器输出。只有一个振荡器的基片与待测压力相接触，因此，压力的大小可通过差频的改变来测量。由于二振荡器的结构和所用的材料相同，故温度变化引起的二振荡器的频偏相同，在混频器中可以互相抵消，从而补偿了温度变化。 （a） (b) 图7.6 SAW压力传感器的结构图 图7.6为一种SAW压力传感器的结构图。所有零部件都采用相同方向切割的压电石英，把它们熔焊在一起，由于它们的温度系数都相同，故减小了温度变化时热膨胀引起的额外应力变化。为了得到高灵敏度，传播基片做得很薄，并且两面抛光，从而提高耐压强度。其余三片的厚度为0.3 cm 。用SAW谐振器代替延迟线构成振荡器，谐振器频率为130MHz，反射栅由500个反射沟槽组成。谐振器插损10dB，Q值为10000。一个谐振器放在中间敏感压力，另一个放在基片边上做参考。灵敏度为35.5kHz/kg/cm，测量范围0~3.5kg/ cm。 通常SAW传感器的基底材料可采用LiNbO、ZnO、石英等，也可以用单晶硅作膜片，在其上面形式压电薄膜。 SAW压力传器可用以监视心脏病人的心跳，用射频振荡器把信息发射出去，实现遥测。 7.3 SAW热敏传感器 利用SAW振荡器振荡频率随温度变化的原理构成的温度传感器，称为SAW热敏传感器。 把