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Microfabrication technology
Outline
1 2
1-
Deal Grove Model7001300
0.2Bar1Bar30nm
2000nm
d 2 + Ad = B(t + τ )
o o
A ⎡ t + τ ⎤
do = ⎢ 1+ 2 − 1 ⎥
2 ⎣ A / 4B ⎦
2
d d
t = o + o
B B / A
1-
t + τ A 2 / 4B
d ≅ (B / A)(t + τ )
0
B/A
Linear rate constant 2
t τ t A / 4B
2
d ≅ Bt
0
Parabolic rate constant
1-
B/AB
7 µm 1.93eV
(B / A)wet = (5.8× 10 ) exp(− )
hr kT
µm2 0.71eV
Bwet = (188 ) exp(− )
hr kT
6 µm 2.01eV
(B / A)dry = (7.8× 10 ) exp(− )
hr kT
2
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