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注入常见问题解答 一、述说TC, CG，ION GAUGE, 机械泵，干泵，扩散泵，冷泵，分子泵的工作原理。 Ⅰ、TC就是Thermocouple（热电偶）的意思，它的全称是Thermal Conductivity Gauge 。 其外形和原理图分别如下： 它利用热电偶的电阻随温度的变化而变化的原理在感应真空的，当气体分子较多的时候，热电偶的热量会被气体分子传导出去，所以热电偶的温度就低，当气体分子变少时，热电偶就不容易散热导致电阻的变化，再用一个简单的电路来显示真空的读数。 Disadvantages： 测量范围小（1Torr～50mTorr），反应慢。 Ⅱ、CG就是Convectron Gauge，其外形和原理图如下： 它的原理是利用一个平衡电桥，电桥中含有四个电阻，其中一个是热电偶，他的阻值会随温度的变化而变化，当气体分子较多时，Thermocouple的热量会很快被散发，当气体分子比较少时，它就不容易散热，温度就会较高，它的电阻就会变化，电阻的变化导致电桥的不平衡，再由放大器反应其差值而显示真空读数。 Advantages：测量范围广且反应迅速。 Disadvantages：容易被腐蚀和污染且容易摔坏。 Ⅲ、Ion Gauge全称HCIG（Hot Cathode Ionization Gauge）它的外形和原理图如下： 它的原理是加热灯丝使之发射出电子，电子被中心带正电的螺旋线圈吸引而向线圈运动，运动的电子撞击气体分子使之成为带正电的离子，这些气体离子被一个叫Ion Collector的探针吸收并记数从而来表示真空的读数。 Advantages：能测量较高的真空，且准确。 Disadvantages：必须定期的进行灯丝除气以保持其精确度。 Ⅳ、Summary of vacuum gauges 各种不同原理的gauge也决定了它不同的测量范围，由于注入机中的真空有很大的范围，所以在注入机中综合运用的这些gauge。它们的测量范围如下面的图表所示： Ⅴ、Mechanical Vane Pumps就是机械泵，它是利用旋转的叶片将气体从腔体中带出去，它的外形和结构原理图如下： Advantages：在同样的用途上它的价格相对比较便宜。 Disadvantages：由于它的密封是靠金属叶片和腔体之间的油脂完成的， 因为泵油容易被有毒物质污染，所以必须定期地更换泵油。 Ⅵ、Dry Pumps就是干泵，它的原理和Mechanical Pump的原理类似，只是在密封方式上有所不同，它的外形和原理图如下： 它的原理同Mechanical Vane Pump只是它靠的是叶面和泵内壁的机械接触来密封，而不像Mechanical Vane Pump那样要靠油脂来密封但它仍需要少许的润滑油。 Advantages：它比Mechanical Vane Pump需要的维护少，且抽真空的能力也比Mechanical Vane Pump强。 Disadvantages：它比Mechanical Vane Pump要昂贵得多。 Ⅶ、Diffusion pumps就是扩散泵，它的外形和原理图如下： 它的原理是利用高温将泵内的扩散泵油挥发由机械结构让热油在泵体内形成一个循环，当气体分子进入后就会被流动的油幕带到扩散泵底部，再被前级泵抽出。 Advantages:能在其他榜不能工作的环境下工作且相当地便宜。 Disadvantages:扩散泵油会被有毒气体污染要经常更换；对它抽气的前级泵也容易被这些有毒气体污染。 Ⅷ、Cryogenic Pumps就是冷泵。它的外形图和原理图如下： 它的工作原理是这样的：利用氦气造成二段非常冷的接触面（80K，15K)。依不同的气体蒸气压可分成三种不同的抽气方式，分别为。 冷凝凝结：空气中的水气与碳氢化合物气体分子都会被这一接触面所吸附，可造成非常低的水气分压。假使这接触能达到130K时，更可达到 10-10 之水气分压。所以说冷凝泵是对水气有极佳抽气效率的一种泵浦。 冷凝吸附：大气中占有将近99% 的氧气，氩气，二氧化碳，氮气等气体，其在经过80K凝结列阵，减低速度之后，将被15K列阵所吸附。 冷凝扑捉：在大气中剩余的一些不被凝结的气体，如氖气，氦气，氩气，将被这15K列阵中的活性炭组捉着。 就其结构而言可以分为两个部分：氦气部分和真空部分。 氦气部分包括如下部件： 冷却腔体：由一不锈钢管组成，它必须有非常低的热传导效果其内部与置换器