周边固支压阻传感器敏感元件的ANSYS仿真分析.pdf

周边固支压阻传感器敏感元件的ANSYS仿真分析 邵贤忠吴祖堂 李运良李鹏 戈琳刘冠兰 姜兴东 西北核技术研究所 西安710024 摘要：本文利用ANSYS程序含有的有限元分析能力对一种基于MEMS技术的压阻式高g值冲击 加速度传感器的敏感元件进行了受力和模态分析，为了解和指导压阻芯片的制作和传感器的封装提供了 可信的分析结果。通过仿真给出了圆膜片受1000009加速度时的仿真挠度云图、径向应力曲线、切向应 力曲线和前六阶模态响应的仿真结果，模态分析结果表明该结构压阻式冲击加速度传感器的频率响应特 性可以满足高2值应用的要求． 关键词：ANSYS压阻式MEMS仿真模态 1-引言 有限元法是20世纪50年代兴起的在连续体力学领域应用的一种有效的数值分析方法。在目前应用广泛 机平台的大型有限元分析系统，它功能强大，适用领域非常广泛。软件主要包括三个模块：预处理模块、分 析计算模块和后处理模块。本文就是利用ANSYS程序含有的有限元分析能力对一种基于MEMS技术的压 阻式高加速度值冲击加速度传感器的敏感元件进行了受力和模态分析，为了解和指导压阻芯片的制作和传感 器的封装提供了可信的分析结果。 2．问题的提出 在研制更高性能指标传感器过程中，传统的结构和工 艺条件已经成为研制高g值冲击加速度传感器的瓶颈，必须 采用新技术和新工艺。微机电系统(陋MS)是当今技术 研究热点之一，它采用先进的工艺，将具有信号处理功能 的智能机械结构集成在一块芯片中，MEMS装置具有与传 统的传感器和执行器等相同的功能，但比后者要小得多。 基于MEMS工艺的压阻式加速度传感器的敏感元件主要采 用两种结构：固支梁和悬臂梁。因固支梁的灵敏度较低， 本文采用固支梁的周边固支圆膜片结构，敏感元件的几何 结构及尺寸如图1所示。周边固支圆膜片结构满足 Kiechhoff G．弹性薄板小挠度弯曲理论，在lOOOOOg加速度 瞬态载荷作用下，可以利用ANSYS仿真环境来实现受力相 图l 周边固支圆膜片结构加速度传感器的 敏感元件几何结构及尺寸 关分析。 3．敏感元件的参数化有限元建模及网格化分 ANSYS中有两种建立有限元模型的方法：实体建模和直接生成。本文涉及实体模型结构简单，适用实 体建模。首先生成能描述敏感元件的几何形状的几何模型，然后指示ANSYS软件按照指定的单元大小和形 状进行网格划分产生节点和单元。 利用ANSYS进行分析的过程一般是：建立器件的结构模型(建立体，划分节点、单元，输入材料特性)， 施加边界条件(载荷，边界的约束)，分析计算：对分析结果的后处理(显示、查询节点和单元处的位移、 应力，也可导出数据由外部程序进行处理)。按照图1给定的尺寸利用ANSYS的前处理模块建立敏感元什 163 的实体模型。为了提高仿真传感器敏感元件应力及应变的精度，如图2所 示采用六面体单元以映射的方式对模型进行化分。图2所示为建立的敏感 元件的有限元模型。在器件的建模中要解决如下问题： 1)确定边界条件及材料属性。周边固支，所有节点沿Z轴方向施加 1000009的载荷。严格来讲，硅晶体为各向异性材料，在不影响精度的前提 下，对材料属性进行了简化，给定弹性模量及泊松比。 2)选用模态分析，采用ANSYS默认的求解器进行求解。 ．．． 3；确定模型载荷。给模型加载要注意与器件的实磉工作情况相一致。 图2敏感元件的有限元模型 4．敏感元件受力和模态分析 (1)受力分析 在建立了敏感元件结构的模型后，就可以对模型进行相关力学性能分析求解。 模型为中轴对称体，如图2所示，分析应力应变沿AB轴的变化。当受到1000009的瞬时载荷时，敏 感元件上的应力、应变分布如图3和图4所示。 图3敏感元件上的应力曲线 图4敏感元件上的应变曲线 从图3、图4可以看出： 1)这种结构成功地将均布在膜上的应力集中到了梁上的某些区域，实现了应力集中。 2)力敏电阻灵敏度主要来自于】，向应力，X向及剪切应力