长脉冲激光与硅相互作用气化过程的数值模拟-光学精密工程.PDFVIP

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  • 2017-12-22 发布于天津
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长脉冲激光与硅相互作用气化过程的数值模拟-光学精密工程.PDF

长脉冲激光与硅相互作用气化过程的数值模拟-光学精密工程

第 卷 第 期 光学 精密工程 19 2   Vol.19 No.2               O ticsandPrecisionEnineerin           年 月   p g g 2011 2 Feb.2011       文章编号 ( ) 1004924X201102043708  

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