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磁偏转器 对于大偏转角的情况，常用一对鞍形 带屏蔽环的空心线圈，如图所示。 由于线圈端部对偏转作用很弱，因此， 将其端部导线向外翻卷成鞍状，这种 偏转器可以在很大的偏转角下工作， 并能保持良好的线性。 对偏转线圈（X，Y扫描）的控制 线圈电压与 束流轨迹 控制硬件 框图 三 离子束的控制 由于离子束是带正电的粒子，某些方面的性质类似电子，因此可以用电场力和磁场力的作用使其聚焦或偏转。离子束的选分系统也是利用其在磁力作用下离心旋转来实现的。 离子束的产生过程：将选定的某种元素的原子在离子源中电离成离子。后经引出电极，进入加速系统，在加速电压V的作用下，使每个离子具有qV的能量，q为离子的电荷。 三束的强度控制 偶合变压器的机械式控制 原理简单，接触磨损，不宜频繁调节； 可控硅调功 结构简洁，污染电网，功率受限； 磁调变压器 设计先进，可控性好，成本较高。 四 束流加工中的工件位移控制 直线电机 直线电（动）机是将电能直接转换成直线运动机械能、而不需要任何转换机构的传动装置。直线电机(b)与旋转电机(a)结构原理对比示意图如下。两套直线电机，可组合出平面运动机构 五 束斑与工件间介质的控制流体压力、流量及质量控制 流体信号采集的传感、变送及A/D见测控仿真课的第三讲；控制环节