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真空科学与技术学报 第25卷增刊
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JOURNAL TEcnNOLO(；Y(OnNA)2005年12月
SiNx薄膜的制备、结构及其光学性能表征
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(1．苏州大学物理科学与技术学院，江苏省薄膜材料省重点实验室215006；2南京大学物理系，南京210093)
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