划片机划切工艺研究.docx

划片机划切工艺研究闫伟文，高清勇(北京中电科电子装备有限公司 ，北 京 100176)摘 要 ： 介绍了划片机的划切原理 ，对划切中影响划切质量的关键因素进行了系统分析研究 ，并提出指导性的建议 。关 键 词 ： 划 片 机 ； 划 切 工 艺 ；划 切 参 数 ；中 图 分 类 号 ： TN305.1文 献 标 识 码 ： A文 章 编 号 ：1004-4507(2014)11-0024-05The Research of Dicing Saws Dicing ProcessYAN Weiwen，GAO Qingyong(CETC Beijing Electronic Equipment CO.，Ltd，Beijing 100176，China)Abstract: This paper systematically introduces the dicing principle of dicing saw，On the key factorsto influence the quality of the dicing were analyzed and research，andsuggestions.Keywords: Dicing saw；Dicing process；Dicing parameterputforward constructive划片机是以强力磨削为划切机理，空气静压电主轴为执行元件，以每分钟 3 万到 6 万的转速 划切晶圆的划切区域，同时承载着晶圆的工作台 以一定的速度沿刀片与晶圆接触点的划切线方向 呈直线运动，将每一个具有独立电气的芯片分裂 出来。这个过程就是划片或划切（Dicing Saw）。工 作原理如图 1。目前随着电子产品的发展，市场对半导体封 装技术提出了更高的要求。对其更小，更轻，更低功耗，更高可靠性的要求日新月异，并且新兴的工 艺使得划切对象不再单一，导致划切工艺更加复杂。为了提高划切品质和加工效率，透彻分析影响主轴高速旋转方向晶片胶膜承片台承片台运动方向图 1 原 理 示 意 图划切品质的因素成为必须。本文对划切中影响划 切质量关键的因素进行了系统分析研究，并提出 指导性的建议。收 稿 日 期 ：2014-10-2024（总第 237 期）Nov． 2014（而另一边正常，通常是由于主轴垂直度不够，可根据那边崩边判别主轴仰角或是俯角。1.2.3 主 轴 转 速主轴的转速是与划切速度相匹配，影响划切 效果的是主轴线速度，理论上增加主轴转速，提高划切速度，来保证固定的线速度就不会影响划切效果，但是主轴的震动量在不同的转速范围是不 同的，这就需要找到一个最佳的结合点，在保证划 切效果的前提下提高效率。注意：选取主轴转速时需注意刀具所允许的 最大转速，例如 DISCO 的 PIA 系列刀具，使用直径 50 mm （2 英寸） 刀盘时，最高速 度＜60 000 r/min；75 mm（3 英寸）刀盘时，最高速度＜40 000 r/min。当超过所允许的最高转速时， 刀具会自动解体。主 轴11.1 主 轴 的 分 类砂轮划片机主轴采用空气静压支承的电主 轴。 现在所使用的主轴有两类，分别是交流主 轴，及直流主轴。 两类主轴从结构上有以下区 别：直流主轴电动机的结构和普通直流电动机的 结构基本相同，其主要区别是：在主磁极上除了 绕有主磁极绕组外，还绕有补偿绕组，以便抵消 转子反应磁动势对气隙主磁通的影响，改善电动机的调速性能；直流主轴电动机都采用轴向强迫通风冷却或热管冷却，以改善冷却效果。直流主 轴电动机在基本速度以下为恒转矩范围，在基本 速度以上为恒功率范围。直流主轴主要采用晶体 管脉宽调制调速系统调速。一般会装有用于反馈 的检测元件。而交流主轴电动机是经过专门设计 的鼠笼三相异步电动机。与直流主轴电动机相类 似，在基本速度以下为恒转矩区，在基本速度以 上为恒功率区。当速度超过一定值后，功率 - 速 度特性曲线会向下倾斜。交流主轴电动机广泛采 用矢量控制调速方法进行速度控制。由于结构上 的差别造成直流主轴的转速控制精度较高（通过 反馈补偿转速），主轴工作时震动量较小，划切效 果较好，但其扭矩相对同功率交流主轴偏小，对 较厚、硬的玻璃、陶瓷和键和材料划切，切削力不 足。 其划切领域主要针对硅晶圆，砷化镓，氧化 物晶圆等。 交流主轴扭矩较大，震动偏大，主要 针对 LED 基板、生陶瓷、新型电子封装等较硬， 精度要求不高的产品加工。2 水 源划片机所使用的水源有两路，主轴冷却水和切割冷却水。2.1 主 轴 冷 却 水顾名思义，主要功能是对主轴进行冷却保护， 在主轴内部循环使用，必须采用去离子水，否则会对主轴内部造成堵塞，冷却水的温度应恒定在室温，建议用户配置恒温水箱，否则划切过程中刀痕 会