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钴离子注入对二氧化钛晶体的结构和光学性能的影响

物 理 学 报 ActaPhys.Sin. Vo1.60,No.11(2011) 116102 钴离子注入对二氧化钛晶体 的结构 和光学性能的影响术 李天晶 李公平 马俊平 高行新 1)(兰州大学核科学与技术学 院,兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室 ,兰州 730000) 2)(山东大学晶体材料 国家重点实验室,济南 250001) (2OlO年8月 28日收到;2011年2月 18Et收到修改稿) 采用离子注入法制备 了钴离子掺杂 的金红石相 TiO 样 品;离子注入能量、注量分别为40keV(1×10 cmI2), 80keV(5X10”,1X10 ,5X10 ,1X10”cm。),120keV(1X10 CBI2).通过 XRD,XPS和 uv—Vis等手段对掺杂 前后样 品的结构和光学性能进行 了表征,分析 了掺杂元素在金红石 TiO 中的存在形式.XRD测试表 明随着注入 能量 的增加晶体 的损伤程度增加.uV—Vis测试表 明掺杂后所有样 品在可见光区的吸收增强;并且随着注量 的增 加 ,注量为 5X10”cmI2到5×10 cm 范围内注入样 品的光学带隙逐渐变小. 关键词 :钴 ,二氧化钛 ,离子注入 ,掺杂 PACS:61.72.一y 范围和提高光催化性能的报道 比较多,但大部分的 1.引 言 掺杂主要是在纳米TiO,薄膜或锐钛矿 TiO,基体中 进行 的掺杂,而不 同的研究小组 由于制备方法 、掺 TiO 在 自然界 中有 3种晶型,分别为金红石 , 杂的手段及实验设备的不 同,所得的实验结果有较 锐钛矿和板钛矿.在其晶胞结构 中每个氧离子相邻 大差异.鉴于以上情况 ,我们利用不同能量、不 同注 3个钛离子 ,而钛离子位于相邻 的6个氧离子所形 量的钴离子 (co )注入金红石 Ti0,(001)单 晶片. 成的八面体中心.这 3种晶型的主要差别是八面体 用 TRIM(thetransportofionsinmatter)程序进行 了 内部扭 曲和相互连接方 式不 同. 自从 1972年 损伤模拟 ,以及注入后钴离子在金红石 TiO,基体 中 Fujishima等报道 了TiO 的电极催化实验 以来 , 的分布.实验上研究了不 同注入能量 、注量对 TiO TiO:以其独特 的物理和化学特性引起广大科研工 的晶体结构和紫外.可见光吸收的影响. 作者的重视.金红石 TiO,的能带间隙为 3.02ev, 在紫外光照射下将其电子 由价带激发到导带而形 2.实验 成电子-空穴对 ,进而分别与环境中的氧分子及水分 子产生反应 ,形成氢氧 自由基 ,并将表面的吸附物 本实验 是 以厚 0.5mm和大小为 10mm x10 质进行氧化或还原,可分解环境 中的有害有机化合 mm单面抛光 的高质量单晶TiO,(001)作为衬底 (由 物转化成无害物质,对于许多反应均有很好的催化 GermanyMaTeck提供).选用 co离子作为离子源 , 效果 ;为了扩展 TiO:的光吸收范围和提高光催化活 在室温下用离子注入法将 co离子注入 TiO,晶体的 性 ,常用的改性手段有过渡金属掺杂 、非金属离子 抛光面.注入是在中国科学院半导体研究所的离子 掺杂、贵金属沉积、染料敏化 、复合半导体等几种形 注入机上完成的.离子注入能量40—120keV,注入 式 .虽然现在针对 TiO,的掺杂 以扩展光吸收 剂量为5X10”一1X10”cm~.我们采用 SRIM2008 兰州大学磁学与

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