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换PoCl3注更意点： 7 将空瓶送至抽风橱中 　 26 左手稳住阀 8 检查待换源瓶的密封性（裂纹、旋纽松脱、残液） 　 15 在橱窗中进行 9 用周转盒将源瓶取到设备处 　 26 　 10 接气路软管 　 27 进出对应确认 11 开出气阀 　 10 左手稳住阀 12 开进气阀，左手稳住阀 　 10 第二人确认 * 换PoCl3注更意点 13 小流量试验（第二人手动打开小N2 　 16 鼓泡试验 14 确认源瓶中有气泡冒出，管路接口无异常则OK 　 10 观察十秒以上 15 把源瓶放入源瓶座中，确认恒温箱温度 　 10 20度 16 关门 　 6 　 17 收好 防毒面具 　 8 专门置场 19 作好相关记录 　 10 　 * 更换源瓶注意事项 进行有关源瓶的操作时，均需两人配合进行，操作完成后互相检查确认无误后进行生产。 1 更换源瓶时要注意接口的正确接法，分清进口和出口。 2更换源瓶时检查源瓶接头是否松动，漏气。 3将新源瓶替上时，先将源瓶阀门关紧。在进行接管，结束后将源瓶阀门打开。 4初次通气时，先设置小流量气体进行测试，确保源瓶各接头无泄漏后，可逐步加大流量，直至工艺所需数值。 5在使用过程中，发现泄漏应尽快将相应的气阀关闭，并及时通知工艺以及设备人员进行处理。 6在整个操作过程中，要戴好放毒面具及相应防护用品，注意工艺卫生及生产安全 * 方块电阻 1、在扩