丝网印刷磷浆的特性及其快速热扩散行为研讨.pdfVIP

。62· 中国太阳能光伏进展 丝网印刷磷浆的特性及其快速热扩散行为研究 姚朝晖1，2刘祖明2廖华2夏朝凤2李景天2陈庭金2 ‘中国农业大学水利与土木工程学院北京，1000831 ． 2云南师范大学太阳能研究所昆明650092， 【摘’要】 本文介绍了自行研制的丝网印刷磷浆的主要理化特性，并在自制的快速扩散炉 上对其扩散行为进行了研究，比较了不同磷浆浓度，不同快速扩散温度及不同 扩散时间对扩散结果的影响。研究发现，扩散后的主要参数如方块电阻、结深 及表面浓度可控，扩散杂质浓度分布陡峭。高质量的丝网印刷磷浆的制备及其 优异的快速扩散特性，可用于低成本制备选择性发射极太阳电池。 【关键词】 丝网印刷磷浆选择性发射极快速热扩散 of PasteanditsRTD PropertiesScreen·printablePhosphorous Yaozhaohuil·2Liu LiaoHua2Xia UJintian2 Zumin92 Chaofen92 Chenrinjin92 1 of andCivil CollegeHydraulic Engineering，ChinaAgriculturalUniversity,Beijing100083，China 2 Solar Research Normal Institute，Yunnan 650092，China Energy University,Kunming 0引言 选择性发射极太阳电池在欧姆接触的地方(即栅线处)，采用高的表面浓度和相对较深 的结深，有利于做好欧姆接触，减少了串联电阻，提高了填充因子，放宽了电极烧结条件； 而在栅线之间的区域，采用的是浅结和低浓度的扩散效果，表面钝化可以做得很好，极大地 减少了表面的复合电流，使太阳电池的短路电流和开路电压都得到了提高，这些特点使其得 到了广泛的研究和应用。丝网印刷磷浆【l_1是一种普遍采用的简单制备选择性发射极太阳电 池的扩散源材料，它克服了传统光刻和反腐蚀技术的繁琐工艺，具有简单和低成本优势。’丝 网印刷磷浆和悬涂用磷扩散源的配方是选择性发射极太阳电池制造的核心技术，美国和比利 时已有商品见诸于文献中H，引。 快速热扩散(RTD)工艺已广泛应用于微电子领域，同时也是在硅中形成亚微米结的一 种有效的低能耗技术。它采用碘卤灯为光源，变温加热扩散模式，其发射光谱范围从红外、 可见到紫外，其扩散机理尚在研究之中，一般认为由于高能光子对扩散的增强作用№，71，极 大的缩短了工艺时间，使扩散由传统的约一个小时的时间缩短为RTD的40秒左右，减少了 工艺热耗，提高了生产效率。同时，由于冷壁环境，使得RTD可以和其他的工序同时进行， 晶体硅太阳电池及材料．63． ， ● 如制结、形成背场和表面钝化，而不易产生交叉污染‘81。本文报道了自行研制的丝网印刷磷 浆的主要理化特性及其快速扩散行为的研究结果。 1实验 1．1 实验 实验选用工业生产用直拉单晶硅(100)@100圆片，电导率约为1．5Q·cm，用激光切 cmX4 割成2 cm的小片为衬底，按常规太阳电池制备要求清洗干净，做好扩散前的准备。通 过自制的简易的丝网印刷装置印刷磷浆后i置于红外灯下干燥40rain以脱除溶剂，根据不同 的扩散条件备用。 ， 1．2一测试 随时间变化的残余重量；粘度测试选用的是上海天平仪器厂生产的