晶圆切削液分析及延长线上使用时间之研究成果.PDFVIP

晶圓切削液分析及延長線上使用時間之研究成果 研究動機 太陽能發電是一種可再生的環保發電方式， 其中單晶矽與多晶 矽占太陽能晶片整體市場的 ％，為目前市場主流。在整個太陽能 90 矽晶片加工製程中，包含最初長晶、進而開方、導角研磨、 切削、 清洗等相關步驟，其中晶片切削 （ ）步驟，對成本控制 wafer wire saw 與製程的品質占有重要的關鍵比例。目前國內太陽能晶圓廠 切削液 成本占切削製程成本高達 35% ，而中國大陸的太陽能晶圓切削液成 本相對於國內低廉。在面對中國大陸之成本競爭下，國內太陽能晶 圓廠如何降低切削製程的成本則顯得非常重要。 本計畫的研究方向包括提升油品與碳化矽回收處理技術及開發 自製添加劑油品等方式，以降低國內太陽能晶圓廠切削製程的成本。 預期可達成以下目標：將經 遠心離心機分離之委外回收之廢切削 IHI 液，於廠內回收部分油品再使用，以延長切削油品線上使用時間； 回收廢 切削液