飞秒激光作用下薄膜破坏的力学过程.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 % !##’ % ， ， ， ?@A ) @ )% 5BC5DE5F !##’ （ ） (###7*!%#,!##’, #% ,*($7#$ 8/98 .:;=/8 ==/8 #!##’ /GHI ) .GJK ) @L ) 飞秒激光作用下薄膜破坏的力学过程 张红鹰 吴师岗 （山东理工大学材料科学与工程学院，淄博 !#$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） !## ’ !## (( ( 提出了等离子体膨胀的力学模型，在等离子体膨胀过程中考虑了球壳膨胀时的惯性效应，实现了动态特性的 模拟 采用能量守恒原理，研究了薄膜中等离子体受限制爆炸的薄膜损伤机理的力学特性，并对薄膜损伤的发展作 ) 了初步探讨) 关键词：等离子体，膨胀，薄膜，激光 ： ， ， !## !# ’’# ’*# ( !! ! ! 3 ( # ./ 0 ! ! - 1 -1! 0 ! 1 - ! （ ） 2 $ - - ! ! (+ 引 言 ! ! !! （） 0 ) ( 2 飞秒激光与材料的相互作用，由于激光功率非 ! 根据膨胀过程中的能量守恒定律，忽略热效应， 常高、作用时间非常短，所以会形成电子温度很高， 则静电场势能全部转化成了膨胀动能 离子温度较冷的等离子体) 电子温度很高的等离子 # ! ( ! ./ ! 体不能稳定存在，有迅速膨胀的趋势 因此在飞秒激