碳纳米管场效应晶体管的自动化装配方法研讨.pdfVIP

第29卷第8期增刊 仪 器 仪 表 学 报 V01．29No．8 三塑墨堡墨旦 g垒i望!墼!Q坠婴型旦!墨垡曼翌堑!!!!墅业巴!坐 垒坚：!塑苎 碳纳米管场效应晶体管的自动化装配方法研究 于海波1’2 田孝军1 于鹏1董再励1 (1中国科学院沈阳自动化研究所机器入学国家重点实验室沈阳110016；2中国科学院研究生院北京100039) 摘要：自碳纳米管(Carbon 性产生了浓厚的兴趣。近年来，CNT基纳米器件的研究取得了重要进展．特别是利用半导体性CNT制造的碳纳米管场效 nanotubefieldeffect 应晶体管(Carbon 造方法进行了系统分析，构建了基于DEP方法可实现碳纳米管场效应晶体管的自动化装配的微滴定实验系统。本文进行 的a虾聊装配实验，证明了该系统的有效性． 关键词：碳纳米管介电泳装配场效应晶体管 AMethodonAutomatedofCarbonNanotubeFieldEffect Study Assembly Transistor YuHaib01·2Tian Yu Zailil XiaojunlPen91Dong State Institute 110016 (1 KeyLaboratory ofAutomation,Chinese china； ofRobotics,Shenyang AcademyofSciencesShenyang 2Graduate 100039 ChineseAcademyofSciencesBeijing Univers渺谚tIle China) Abstract：Sincecarbon invented．researchershave extremeinterestsabout nanotubes(CNTs)were explained totheir andelectronic nanodevices CNTs,dueuniquephysical，chemical havemade nanotubefieldeffect manyprogresses．Particularly,carbon by CNThaveexcellent inthe and semiconductor fieldsofchemicalsensors potentialapplications biological to sensors．Therefore．thisfirstmakesareviewofthemethodsassemble the paper CN■FET．Then,weanalyze methodtofabricateCNT-FET anautomatedmicro usingdielectrophoresis(DEP)，anddevelop spottingsyst