碳含量对TiAlCN薄膜组织结构及摩擦性能的影响研究.pdfVIP

第pU届中困热处理活动刷暨第九届江苏省热处理年会论文集(2006年5月，南京) 碳含量对TiAlCN薄膜组织结构及摩擦性能的影响 张旭海，蒋建清，陈锋，许盼盼，谈荣生，杨凯，陈莹 (东南人学，江苏南京210096) 摘要：TiAlCN薄膜以其优异的综合性能获得越来越多的关注。利用反应磁控溅射，通过调节TiAlC复合靶中 增加，硬度先增加后减小，当石墨体积比为50％，硬度获得最大值。组织结构由柱状晶结构依次转变为粗纤维结 构、细纤维结构和玻璃态结构。组织中的晶体主要是面心结构的(Ti，AI)(C，N)，并有少量六方结构的(AI，Ti) (C，N)，都存在明娃的结构取向；摩擦试验表明，TiAICN薄膜的摩擦系数随薄膜中C含量的增加而减少，摩擦 剐磨球的磨损量相应减少，TiAICN薄膜摩擦表面也从严重磨损向轻微逐渐过渡。C含量的增加具有明娃的减摩 耐磨作用。 关键词：TiAICN薄膜磁控溅射磨损 由于硬质薄膜可有效提高模具和切削刀具的表面抗磨损、抗腐蚀和热稳定等性能，使之在更高温度及 加二【：速度条俐：’F服役，扩展：ll：件的应用范罔，提高其使用寿命，因此是表面强化的重要手段之一。经过四 十年的不断探索，硬质薄膜的沉积方法和薄膜成分获得巨大发展。就沉积方法而言，已由单一的化学气相 沉积发展到不同种类的物理气相沉积，如磁控溅射，非平衡磁控溅射，离子镀等。与化学气相沉积(CVD) 相比，物理气相沉积(PVD)沉积温度低，沉积厚度便于控制，可用于精密加：【模具／刀具表面处理，并且没 有环境污染问题。因此成为硬质薄膜的主要手段。薄膜元素种类，已由二元发展到多元硬质薄膜。TiN作 为金属陶瓷具有高硬度，较好韧性，较低摩擦系数，是硬质薄膜最常用的材料之一。为了适应加二F业高速 大的兴趣。由于TiALCN属四元材料，组织结构复杂，相关的研究并不多，因此本文通过反应磁控溅射法 研究了C含量对TiAlCN薄膜中成分、组织结构及摩擦性能的影响。 1 试验方法 靶材为钛、铝和石墨复合构成，其中Ti和Al的体积比保持l：1，薄膜中的C含量通过调节石墨体积比实 现；沉积TiAICN过程中，靶基距为6cm，本底真空度为6．6x h；TiAICN沉积前， 为30sccm和2sccm，直流功率150W’沉积过程中基片经水冷却，沉积时间为1h／5 先沉积约150nm的Ti层，：]：作气压为0．5Pa， 通过FEI公司生产Sirion 转数为3500转。 2试验结果与讨论 2．1复合靶石墨面积比例对TiAICN薄膜结构的影响 44 如图1所示，随着复合靶中石墨体积增加，TiAICN薄膜的沉积厚度逐渐下降，在猫墨面积百分比为 50％时，沉积速率趋于稳定。薄膜沉积速率的。F降主要是由于石墨的溅射率小于钛和铝的溅射率所致‘61。 先上升后下降，彳i墨体积比为50％B寸达到极值。 一 吕 丑 V 趟 蹬 餐 教 复合靶石景面积百分比(％) 图l靶中石墨体积比对沉积速率的影响 图2石墨体积比对薄膜成分的影响 如图3所示，随着靶中石墨体积的增加，TiAICN薄膜中的组织结构和表面形貌发生明显变化。当石 墨体积比为16．7％时，薄膜为明显的柱状晶结构，每个晶柱顶端由晶体学平面构成，晶柱直径尺寸约200nm。 由于氮化钛和碳化钛结构相同且完全互溶，C可以取代氮化钛中氮原子形成氮碳化钛【7J，而铝原子在 向为(111)面，即(111)晶面平行基体表面。 (A1Ti)(NC)两相复合构成，并分别呈(111)和(101)择优取向。但是衍射峰相对基底峰明显减弱。 量增加使薄膜中品柱的长度不断缩短，达到亚微米或纳米量级哺J。 处也存在很小的衍射峰，与薄膜衍射峰重叠。当薄膜中碳含量增加，造成薄膜对x射线吸收系数减小时， 明显。 产生成非品碳【2,5,10J。导致薄膜结构由晶态向品态月乍品结构变化。 45 图3