清洁等离子体在辉光光谱成份分析中的应用研究.pdfVIP

2008年全国化学与光谱分析会议 清洁等离子体在辉光光谱成份分析中的应用 余卫华 张穗忠 于录军 武钢研究院武汉430080 摘要：辉光光谱仪在进行成分分析时，需要等离子体稳定时才能进行数据采集。一般通过用氩气吹洗腔体和设置预积分来保 证等离子体稳定后再采集数据。吹洗会将大部分的污染物用氩气带出辉光放电腔，但是仍然会有少量的污染物吸附在腔壁上。 在辉光放电时，氩原子的碰撞会将这些污染物从腔壁上撞下来，进入等离子体中，影响等离子体的状态。本文提出了用“清 洁等离子体”的步骤来减小这种影响。 “清洁等离子体”的步骤就是一个前预积分步骤。在真正进行预积分前，用一个短 暂的时间产生辉光放电，用氩原子将腔壁上的污染物清除下来。然后停止辉光放电．重新进行吹洗，将污染物排除放电腔体。 再进行预积分时，就不会有污染物对等离子体的干扰，等离子体能很快的进入稳定状态。 关键词：辉光光谱仪成份分析等离子体预积分 O前言 辉光放电发射光谱(GDOES)是一个既可以用于对薄膜、涂层表面和界面进行逐层分析，也可以用于对 基体进行直接成份分析的分析手段【l。J。辉光是一种低压等离子体，在两个电极间充有低压氩气，用直 流或射频等方式供给能量，产生辉光放