渠道火花烧蚀法及其应用研究.pdfVIP

渠道火花烧蚀法及其应用 ChannelAblationandits in ofOxideFilms Spark Application Preparation 张群黄 丽 沈 杰 章壮健华中一 nShen ZhangpunHuang JieZhangZhuan咖HuaZhongyi 复旦大学材料科学系上海200433 ofMaterials Science，Fudan 200433，China Department university，Shanghai 摘要：暗要介绍桑道火花烧蚀法的基本蛄构和基本原理，对渠道火花烧蚀法与脉冲激光烧蚀法的性能参敷进 行了比较，指出渠道火花烧蚀法是