SOIM新结构的制备及其性能的研究.PDFVIP

52 1 2003 1 　　　 Vol.52, No.1, January, 2003 1000-3290 2003 52(01) 0207-04 ACTA PHYSICA SINICA c2003 Chin.Phys.Soc. SOIM ＊ 谢欣云　林　青　门传玲　刘卫丽　徐安怀　林成鲁 (, 　200050) (2002 4 19 ;2002 6 2 ) 　　SiO SOI . 2 , SOI . SOIM , . :, SOIM , PACC:6855, 7340T 1.引 言 2.实 验 p 3″(100)、0.003— , 0.007Ψ·cm . SOI(silicon-on-insu