压印对正系统中标记图像几何畸变的校正.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １５ ３ 　 Ｖｏｌ．１５ Ｎｏ．３ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００７ ３ Ｍａｒ．２００７ 　 　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００７０３０４２２０６ 　 压印对