面精度檢查判定.ppt

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面精度檢查判定

佳能部品面精度檢查 面精度的種類 亞斯 橢圓形分散、柱形分散、馬鞍形分散 局部誤差 中高、中低、垂邊、勾邊、S形、弓形 干涉儀鏡頭的選用 ☆目的:為了能測量到被測鏡片的全部表面,基準鏡頭發出的光錐必須大得足以覆蓋被檢面 ☆鏡頭選用的原則:F/NO.≦R/NO.------(F/NO.在基準鏡頭上有標示,R/NO.=r鏡片/d鏡片) ☆限制條件: 凹面鏡片受干涉儀支架的最大工作行程H影響, 即R鏡頭+r鏡片H (富士干涉儀支架最大工作行程H為290mm; ZYGO/AK100干涉儀的支架最大工作行程H為1200mm.) 凸面鏡片受鏡頭的主表面實際曲率半徑影響, 即R鏡頭-r鏡片0 面精度的檢查方法 拉直中心看邊緣:將鏡片的中心光帶拉成直線,看垂邊如下圖 中心拉直方法 判定方法 判定方法 當中心拉直後拉直的範圍越小垂邊將越大 當中心拉直後拉直的範圍越大垂邊將越小 如下圖所示: 判定方法 通常檢面光圈的拉直方法 中心壓印的拉直方法 * * 中心拉直部分 中心拉直部分 中心拉直 通常檢面光圈的拉直方法 佳能部品檢面光圈的拉直方法 以下爲同一個鏡片同一個面的不同拉直方法的不同圖片 A B 光帶與光帶之間的距離B 光帶的彎曲程度A 局部誤差:A/B=1.3本 0.8本 1.3本 大範圍 小範圍 A B 光帶與光帶之間的距離B 光帶的彎曲程度A 局部誤差:A/B=2.3本 B A 光帶與光帶之間的距離B 光帶的彎曲程度A 局部誤差:A/B=0.6本

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