薄膜的热处理性能研究-无机材料学报.PDFVIP

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 匕 , 年 一 月 文章编号 一 一 。 薄膜 的热处理性 能研 究 刘 波 , 王 豪 中 国科 学院 上 海 光 学精 密机 械 研 究 所 , 上 海 , 摘 要 通过对 衬底上 。 薄膜在不 同温度处理后 的 谱线研 究发现 。 分子 于 时开始分解 , 生成石墨类碳碎 片, 时 原子 已与 原子键合形成 , , 时 。 分子全部分解 这一研究结果对解释 分子促进金 刚石成核将起到重要作用 关 键 词 。 薄膜 , 石 墨类碳碎片 , 中图分类号 文献标识码 引言 , , 自从 等 发 现 。 和 固态 。 大量制备