软X射线激光用分束镜研制-中国科技论文在线.PDFVIP

第48 卷 第 13 期 2003 年7 月 简 报 ______________________________________________________________ 软X 射线激光用分束镜研制 王占山 吴永刚 唐伟星 秦树基 陈玲燕 徐向东 洪义麟 付绍军 朱杰 崔明启 ( 同济大学精密光学工程技术研究所, 同济大学物理系, 上海 200092; 中国科学技术大学同步辐射国家重点实验室, 合肥230029; 中国科学院高能物理研究所, 北京 100039. E-mail: wangzs@) 摘要 软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过Mach -zehnder 干涉仪完成的,是测量临界面附近等 离子体状态的重要方法.基于软X射线多层膜的性能特点,指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元 件的入射角越接近正入射越好,分束镜的设计应以其反射率和透过率的乘积为衡量标准.用离子束