基于ARM微处理器的聚焦离子束部件调试研究.pdfVIP

2005年12月 第十三届奎一屯子束·毒手束·光子柬季柬牛套 湖南·长沙 基于ARM微处理器的聚焦离子束部件调试 刘京威 (中国电子科技集团公司第四十八研究所长沙410111) 摘要：本文介绍了笔者使用带LPC2104(PHILIPS 于聚焦离子束电中和控制部件凋试的实例。并以此对ARM处理器用于半导体设备部件调试和控制作 一简略概述 关键宇：聚焦离子柬ARMPHILIPSLPC2104 1．综述 聚焦离子束技术在半导体器件和微机械制造工艺中是一种灵活有效的微加工技术，它具有离子 柬技术的多功能性，可用于掺杂注入、刻蚀作图等。而国内聚焦离子束技术尚不成熟．还需大量研究。 GUN)，溢流 笔者所调试的电中和部件控制一个与聚焦离子束高速消隐相匹配的电子溢流枪(FLOOD 枪发射的电子中和样品表面上积累的电荷．才能保证聚焦离子柬的加工精度。调试过程中笔者尝试用 带ARM核的微处理器作为通用信号发生器，收到了良好的效果。 RI