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硅烷安全管理 1.硅烷的基本性质 1.1 名称 产品名称： 硅烷 Silane 分子式：SiH4 代名词： 四氢化硅，甲硅烷 1.2 CAS 号码: 7803-62-5 UN编号：2203 1.3 物化性质 外观，嗅觉及状态：无色气体，有窒息影响。 分子量：32.12 沸点：（1个大气压）: -169.0°F（- 111.7 °C) 比重：（空气＝1) 1.2 1.硅烷的基本性质 冰点/熔点: －301.0°F（－185.0 °C) 蒸 汽压: ( 70°F(21.1°C)): 不适用，永久气体 气体密度:( 70°F(21.1°C)1个大气压下):0.084lb/ft3 水溶性:几乎不溶于水 1.4危险性 硅烷的危险特性在于它与氧反应的极强活性，自 燃,着火下限低,燃烧能量大，爆炸范围宽，所以决定了它是一种高危险性的气体。 1.硅烷的基本性质 1.5 硅烷的化学性质 SiH4的化学性质非常活泼，因为它有强还原性，与氧化性物质（O2 、卤素、卤化物等） 、碱或许多重金属盐类溶液接触，会显示出很强的活泼性。在特定环境下还能与N2和NH3反应。 1.5.1硅烷与氧反应 硅烷与氧发生化学反应可分为二种情况。 一种是缓慢的氧化作用(硅烷浓度﹤2.5%)，反应结果生成白色的二氧化硅粉末和水。反应式： SiH4+ 2O2一SiO2+ 2H2O 1.硅烷的基本性质 另一种是硅烷激烈的氧化反应。浓度大于8%的硅烷大量泄漏或大量往大气中排放，硅烷与氧就会发生激烈的化学反应，出现激烈燃烧甚至爆炸。反应过程如下： SiH4 + 2O2 SiO2 + 2H2O + ΔH (1) 反应产生的大量热量使得周围硅烷迅速分解。即 X(SiH4 ) (S iH2)X + XH2 (2) 2H2+O2 2H2O (3) (SiH2)X 是一种棕黄色的粉尘。反应式(1)、(2)、(3)是连锁反应，瞬间即可完成。因此当大量的硅烷进入空气， 人们随即发现火光、浓浓的棕黄色烟尘和爆鸣声。这种连锁反应也就是当硅烷生产系统、硅烷反应系统或硅烷高压容器进入大量的氧(或空气) 时， 会发生剧烈爆炸的根本原因。 热分解 激烈氧化 2.硅烷的用途： 硅烷广泛应用于微电子、光电子工业。可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、碳化硅、异质硅、各种金属硅化物等。因为它高纯度和能实现精细控制,已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。 3. 硅烷的包装 3.1 包装容器 使用高压非液化压缩气钢瓶或有复合隔离材料包覆的铝瓶,铝瓶具有不生锈、颗粒脱落少、吸附潮气少、破坏时裂成大块等优点,并且包覆材料可以延长铝瓶丧失抗拉强度的时间。但是铝瓶成本高，制造难度大。钢瓶避免与含有重金属卤化物或游离卤素的材料接触, 否则将引起爆炸。 3.硅烷的包装 3.2 钢瓶阀门选用 一般都采用隔膜阀，禁止使用填料阀,阀门上必 须带有超压卸压装置。 3.3 硅烷的最大充装系数 日本高压气体安全协会技术委员会特种 气体分会推荐硅烷气瓶充装系数不大于 0.22kg/L 。 4.硅烷入厂验收的一些注意事项 4.1 钢瓶外观是否正常，是否有撞击变形等异常现象。 4.2 检查钢瓶上的标识是否清楚完整。 4.3 检查钢瓶阀是否关闭完好，防止钢瓶在运输过程中阀门松动，出现漏气情况。 4.4 检查钢瓶的压力或重量，防止硅烷量过充。 4.5 检漏。 5.硅烷的储存 5.1 在通风良好、安全且不受天气影响的地方存储。 5.2 钢瓶应直立摆放，保持阀门堵头密封性和瓶帽完好。为了保证钢瓶不被翻倒或碰倒，应做好放倒措施。 5.3 存储区域应远离人员频繁出入处和紧急出口。 5.4 储存区域内不应有火源，储存区内所有电器必须有防 爆设施。易燃物存放区应与氧及氧化物存放区最少相距25米 。 5.5 储存区和使用区内应有“禁止吸烟和使用明火”的告示牌。 5.6 存储温度不可高于52℃。 5.7 将空瓶与