日本精工SPA-400原子力显微镜说明书(中文版)-B(M-5).docVIP

Code：0903–MHX–003/9911 概要 SPA400是在承袭了深受好评的SPA300优点的同时，以更高的分辨率、更好的可操作性、更快的扫描速度为目标而开发出的SPM 工作单元。成为SPI系列核心的多功能型标准工作单元，它具有下列特长。 对应多种测定方式。除AFM、FFM及DFM等标准功能外，采用装入不同配件的方法，可实现STM等多种SPM的测定。承袭了SPA300 [可简单进行各测定方式间的转换]的优点。 对细节部分进行了重新设计，实现了更加小型化的工作单元。因而提高了耐用性，可稳定地进行高分辨测定。 为了实现更高速度的扫描，新开发了高刚性scanner。它与SPI3800N probe station的结合可有效抑制振荡，使高速化测量得以实现。 SPA400除标准装备了适用于从原子级分辨到20um的scanner之外，还可根据需要选用适合不同测量范围的scanner组。其更换的简易性优于SPA300。 大幅度重新设计Cantilever支架，同时实现了高刚性与使用的便利性。由于采用了触点式接点，进行DFM及STM测定1）时无需进行电缆连接。除此之外，因前面部分具有较大的开放空间，所以在更换试样时不用取下Cantilever支架也可进行。 具有优良隔音性能的防音罩（cover）。在试验室等苛刻的环境中，也能进行高分辨率的测定。 使用光学显微镜进行从正上方观察2）。光