衍射光栅刻划机的闭环控制系统-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 棽棸 暋 棻棻 暋 斨旓旍棶棽棸暋斘旓棶棻棻 暋暋暋暋 暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋 暋暋 暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻棽 棻棻 暋 暋 暋 斘旓旜棶棽棸棻棽 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻棽棻棻灢棽棿棻椂灢棸椄 衍射光栅刻划机的闭环控制系统 棻 棻灣 棽 棻 棻 棳 棳 棳 棳 蔡锦达 王 英 颜廷萌 秦绪祥 王 亮 暋 暋 棬 棳 椈 棻棶上海理工大学 机械工程学院 上海 棽棸棸棸椆棾 棳 棭 棽棶大连理工大学 机械工程学院 辽宁 大连 棻棻椂棸棽棿 椇 棳 棳 暍 暎 摘要 以斢棾斆棽棿棿棸斄为控制核心 设计了衍射光栅刻划机的高精度运动控制系统 实现了现场显示 实时控制等功能 用 斣斖 棳 斢棾斆棽棿棿棸斄微控制器控制伺服电机和步进电机完成光栅刻划的分度运动和刻划运动 通过 斢旈斍斘斦斖 斠斉斕斖直线光栅 棳 尺反馈和 加前馈控制算法补偿由于惯性等原因造成的分度误差 并用 对使用 加前馈控制算法的分度 斝斈 斖斄斣斕斄斅 斝斈 暎 棳 运动进行仿真 采用 斠斚斘棽棽椀增量式角度编码器反馈以补偿执行刻划运动的步进电机因失步造成的误差 通过分析和 暎 棳 处理实验数据获得分度运动最佳速度和伺服电机在此分度运动速度下停止时的过冲距离 最后 对可能产生控制误差 棳 暎 的原因进行了初步分析 并提出了需要进一步改进和完善之处 椇 椈 椈 椈 椈 椈 关 键 词 衍射光栅 刻划机 运动控制 刻划光栅 加前馈控制 暋 暋 斢棾斆棽棿棿棸斄 斝斈 中图分类号椇 椈 文献标识码椇 椇 棷 斣斍椂棾斚棿棾椂灡棻暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻棽棽棸棻棻棶棽棿棻椂 斆旍旓旙斿斾灢旍旓旓 斻旓旑旚旘旓旍旙旙旚斿旐旀旓旘斾旈旀旀旘斸斻旚旈旓旑 旘斸旚旈旑 旘旛旍旈旑 旐斸斻旇旈旑斿 旔 旟