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中国·北京 中国金属学会第十三届分析测试学术年会 2006年lO月
Beijing·China The13d1ATConf.ofCSM October。2006
不同材料分析对辉光激发光源及
工作模式的最佳选择
(美国力可公司,上海200021)
近年来辉光放电光谱仪(GD卜Glowdis. (RowlandCircle)分光系统、真空型分光室用于用
chamberforUV
于紫外波长元素的检钡](Vacuum
chargespectrometer)越来越多的被大家所了解及
认知,利用辉光放电光谱仪可进行材料的总量分 Spectra)。选择这项技术的重要原因是其在工业
析及表面逐层分析。 环境条件下可满足快速、多元素、定量和表面粗糙
与普通火花光谱激发原理不同,辉光放电光 试样分析的要求。
源在样品表面提供一个低真空氩气环境(一般5 美国力可公司依据上述标准,开发出GDS一
至10乇),给样品加负电压(一般一700V至一850A/GDs500系列辉光放电光谱仪,同时提供直
流(DC)、射频(I疆)两种Grimm型光源选择,为不
1300V),样品作为阴极,氩气在低压真空的环境
下电离形成的氩离子(At+)、氩离子在电场作用同材料分析提供了相适应的最佳条件。
下,向阴极加速运动,并不断与氩气分子进一步碰 Grimm型光源设计如下:
撞产生氩离子(Ar+),最终形成等离子体,这种
等离子体即被称为辉光放电。
一些高速氩离子(心+)到达样品表面,将样
品表面物质均匀地溅射(或剥离)出来。一些溅射
出的物质扩散到辉光放电等离子体内,被分裂成
原子颗粒,最终被激发。这些被激发的原子由激
发态(1级)回到基态时所发出的光是组成该样品
元素的特征光谱,利用这些发射光谱的波长和强
Grimm型光源其优势不仅在于元素间的影
度可进行定性和定量分析。
响较低、可进行快速、多元素同时测定、可进行深
由于辉光可将样品表面物质均匀地逐层溅射 度轮廓分辨分析,同时其工作时电流、电压直接加
(或剥离)出来,因此可进行其它发射光谱所无法
载在试样的分析面,其加载的电压、电流在传导过
做到的表面逐层分析,需要指出的是辉光放电光
程中不会受到样品形状、大小等物理因素影响,因
谱在表面含量分析、浓度一深度关系应用方面比
此不同试样间分析结果的重现性良好。
其它表面分析仪器更具快速,准确、分析成本低的 不同材料分析进行辉光放电光谱分析,要获
特点。
得准确稳定的结果,光源的稳定是一个首要的因
在利用辉光放电光谱进行快速准确定量(尤 Emission
素,恒定的激发强度(ConstantYield)是
其是镀锌、铝板方面)、同时保证良好的精密度和
准确定量分析的前提条件。
再现性方面,ECISs/I℃20(欧洲钢铁标准化委员Grimm型的光源设计为光源稳定提供了硬
会)、ISO/I℃201进行了许多有价值的工作,得出
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