Tl2212超导薄膜的制备研究.pdfVIP

第 卷 增刊 低 温 物 理 学 报 $( = 6$( 年 月 08?@A9A B2CD@E, 2F ,2; !AG+ADE!CDA +8:9?09 ， $5 % 2HI 6 $5 !#$$%$ 超导薄膜的制备! ， 胡芳仁% 伊长虹% $ 赵新杰% 雷 冲% 陈莺飞% 郑东宁% % 中国科学院物理研究所超导国家重点实验室，北京 %’ $ 山东师范大学，济南 $(%) 以铝酸镧晶体为基片，采用两步法制备 超导薄膜，包括在低温（ ）下利用激 !#$$%$ %(* 光脉冲沉积（ ）工艺沉淀 非晶前驱体薄膜和在高温（ ）下前驱体薄 +,- ./ 0/01 2 3) 4 ’5* $ $ ! 膜的铊化结晶、取向生长过程 实验结果表明所制得的膜的相组成为 ，表面存在大量 6 !#$$%$ 均匀分布的成分为 的亚微米颗粒 其零电阻温度为 薄膜与基片之间界 !$./ 0/01 2 6 %%7 6 $ $ ! 面清晰，没有过渡层，薄膜具有良好的 取向外延条纹6 关键词：!#$$%$ 超导薄膜，激光脉冲沉积 % 引 言 高温超导氧化物的优异性能和微波器件的发展使得钙钛矿氧化物高温超导薄膜的制备 ［，］ 与应用开发研究自其发现以来一直是科学工作者研究的热点% $ 6 到目前为止，国际上已经 ［ ］ 开发了多种 微波器件，主要采用 及 、 高温超导薄膜5 4 ( 与 8!9 :.02 !#$$%$ !#$$$5 6 :.02 ［］ $ 薄膜相比，用 制作微波器件的优势非常明显 ： 薄膜具有高的结构稳定性，对 !.002 !.002 潮湿环境的抵抗能力较强，性能不易退化； 薄膜微波表面电阻明显低于 ，品质 !.002 :