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新型纳米导轨 飞
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赵美蓉 曲兴华 陆伯印 (天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 300072) J
搁要 本文研制了一种新fm米导轨 该导轨为V形滑动摩擦导软，其设计符合动力学原理，结构简单，精度极高，导轨系统 J
自身的谐振频率很高。此外，运动副之间的摩擦磨损小，导轨运动灵活平稳，驱动 个自由度，滑架只产生一个自由度的运动。 ，
将该导轨应用于我们开发的纳米激光干涉仪中，取得厂良好的效果。本文对导轨的结构、选材和性能进行了深入研究和阐述.
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要滋词 导轨 纳米 纳米测量 滑动导轨
New-styleNanometricSlidingGuide J
ZhaoMeirongQuXinghuaLu竺少 I
(StateKeyLaboratoryofPrecisionMeasuringTechnologyandInstruments,lianjinUniversity,3000rZ)
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AbstractAnew-stylenanometricslidingguidehasbeendevelopedinourresearchwork.Thetypeoftheguid4is
V,andthespecimencarriageiskinematicallysupportedontheguidewithfivepads.Itobeysthetheoryof1ly-
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namics.Thestructureoftheslidewayissimple,theaccuracyandthenaturalfrequencyofitsareultra-high.寸he
motionoftheslideisverystableandflexible.Itsappliedtoournanometrelaserinterferometer,andtheeffec仁is
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excellent.Thestructuredesign,materialselectionandpropertiesoftheslidingguidearepresentedinthispa外，·
Kevwords Guide Nanometre Nanometrology Slidinggui
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