精密加与特种加工复习(江苏省自考)第二章.pdfVIP

精密加工与特种加工 -- 学位课程 主讲：王凤清 第二章 金刚石刀具精密切削加工 第一节 概 述 第二节 超精密机床及其关键部件 第三节 金刚石的结构与性能 第四节 金刚石晶体的定向 第五节 金刚石刀具的结构 第一节 概 述 一、超精密加工的难点 二、超精密加工的方法 三、超精密加工的实现条件 第一节 概 述 天然金刚石刀具是精密与超精密加工的基本刀 具。金刚石刀具的超精密加工技术主要应用于两个方面, 即 单件大型超精密零件的切削加工和大量生产中的中小型超精 密零件加工。  通常将加工精度在0.1~1um,加工表面粗糙度Ra在0.02 ~0.1um之 间的加工方法称为精密加工, 而将加工精度高于0.1um,加工表 面粗糙度Ra小于0.01um 的加工方法称为超精密加工。 第一节 概 述 图２- １ 各种加工方法所能达到的精度及发展趋势 一、超精密加工的难点 超微量去除技术是实现超精密加工的关键，其 难度比常规的大尺寸去除加工技术大得多。这 是因为在这种情况下，1、工具和工件表面微 观的弹性变形和塑性变形是随机的,精度难以 控制; 2、工艺系统的刚度和热变形对加工精度 有很大影响;3 、去除层越薄,被加工表面所受的 切应力越大,材料就越不易被去除。 一、超精密加工的难点  当去除厚度在1um 以下时,材料被去除的区域内 产生的切应力急剧增大。因为当晶粒的尺寸为 数微米时,加工就需在晶粒内进行, 即把晶粒当 作一个个不连续体进行切削。在晶粒内部, 大 约1μm左右的间隙内就有一个位错缺陷。 一、超精密加工的难点 图２- ２ 材料微观缺陷分布 二、超精密加工的方法 超精密加工按加工方式不同可以分为切削 加工、磨料加工(分固结磨料和游离磨料加 工)、特种加工和复合加工四类。 二、超精密加工的方法 三、超精密加工的实现条件 实现条件包括几个方面： ①超精密加工的机理与工艺方法；②超精密加 工工艺装备；③超精密加工工具；④超精密加 工中的工件材料；⑤精密测量及误差补偿技术； ⑥超精密加工工作环境、条件等。 第二节 超精密机床及其关键部件 第二节 超精密机床及其关键部件 一、典型超精密机床 二、超精密机床的主轴部件 三、精密导轨部件 一、典型超精密机床 超精密机床的基本要求（特点） 1)高精度。包括高的静精度和动精度。主要的性能指 标有几何精度、定位精度和重复定位精度以及分辨率 等。 ２)高刚度。包括高的静刚度和动刚度。除本身刚度 外，还要考虑接触刚度，及由工件、机床、刀具、夹 具所组成的工艺系统刚度。 一、典型超精密机床 ３)高稳定性。在规定的工作环境下和使用过程中能 长时间保持精度，具有良好的耐磨性、抗振性等。 ４)高自动化。为了保证加工质量的一致性，减少人 为因素影响，采用数控系统实现自动化。 一、典型超精密机床 1.大型光学金刚石车床——LODTM 2.FG- ００１超精密机床 3. ＯＡＧＭ２５００大型超精密机床 ４. ＡＨＮＩＯ型高效专用车削、磨削超精密机床 1.大型光学金刚石车床——LODTM 图２- ４ 美国LLL实验室的大型光学金刚石车床(LODTM) 2.FG- ００１超精密机床（纳米级非球面加工） 图２- ５ ＦＧ- ００１超精密机床（德国） 3. ＯＡＧＭ２５００大型超精密机床（2.5nm ） 图２- ６ 英国Ｃｒａｎｆｉｅｌｄ公司的 ＯＡＧＭ ２５００大型超精密机床 １—工作台 ２—测量基准架 3—测头 ４— ｙ向参考光束 ５—溜板龙门架 ６—砂轮轴 ４. ＡＨＮＩＯ型高效专用车削、磨削超精密 机床（1