真空技术 2.pptVIP

真空部件分类 快接法兰 真空部件分类 快接法兰连接方法 真空部件分类 连接管件，波纹管 管件类型 真空部件分类 金属与玻璃的连接件 观察窗 真空部件分类 电真空连接部件 真空部件分类 真空阀门 真空部件分类 真空阀门：截止阀 真空部件分类 截留阱和冷阱 抽气管路截留阱： (a) 截留机械泵油用：微孔筛；分子筛，吸收器 (b) 截留系统内杂物和灰尘：过滤器 (c) 截留水蒸汽：液氮冷阱，水冷阱 2. 液氮冷阱 3. 油气消除器 4. 挡油板 5. 过滤器 计算流导和抽气速率 串联流导 并联流导 系统流导 总流导 管道流导 泵抽速 流导极限 管道流导比泵抽速重要 在气体到达泵口前，不能抽气 真空泵抽速的计算 抽空流量和气体负载 决定真空泵组的抽速选择 真空室的气体负载 取决于：漏气；脱气；污染 真空密封 真空密封 金属密封: 铜垫圈 和平板法兰为首选 真空室的密封: 100% 密封 脱气低 可烘烤 O-ring 密封: 人造橡胶 O-ring 可烘烤到 100 oC 15 ~ 18 % 的压缩量 密封面抛光很重要 可能存在小的漏气 (Hard to find small leaks) 方便 可重复使用 刀口法兰使用人造橡胶密封圈要慎重 很容易漏气 两个密封面可以熔接起来 使用不锈钢镀银螺丝 并不便宜 实际真空