AlGaNGaN异质结构中极化与势垒层掺杂对二维电子气的影响.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 : 4 $$7 4 ， ， ， NO( .: +O .4 PC(@ $$7 （ ） #$$$;%$-$$7-: $4 -$;$: ’GH’ IJKLMG’ LM+MG’ $$7 GQA . IQ@R . LO2 . !#$% #$% 异质结构中极化与势垒层掺杂对 二维电子气的影响! ! 孔月婵 郑有 周春红 邓永桢 顾书林 沈 波 张 荣 韩 平 江若琏 施 毅 （南京大学物理系，南京 #$$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $$ #$ # $$ ## # 从 族氮化物中压电极化对应变弛豫度的依赖关系出发，通过自洽求解薛定谔方程和泊松方程，分别研究了 ! 自发极化、压电极化和’()*+ 势垒层掺杂对’( )* +- )*+ 异质结构二维电子气的浓度、分布、面密度以及子带分 ! # , ! 布等性质的影响 结果表明：二维电子气性质强烈依赖于极化效应，不考虑 势垒层掺杂，当 组分为 时， . ’()*+ ’( $ / 由极化导致的二维电子气浓度达#/0 1 #$# 23, ，其中压电极化对二维电子气贡献为$ /4 1 #$# 23, ，略小于自发极 化的贡献（ # , ），但为同一数量级，因而通过控制 层应变而改变极化对于提高二维电子气浓度至 $ /% 1 #$ 23 ’()*+ 关重要. ’()*+ 势垒层掺杂对二维电子气的影响较弱，当掺杂浓度从# 1 #$#4 增加到# 1 #$#5 23, 时，二维电子气面 密度增加$ / 1 #$# 23, . 关键词： 异质结构，二维电子气，自发极化，压电极化 ’( )* +- )*+ ! # , ! ： ， ， ’!(( 45$6 47$8 4$9 能的重要因素 此外， 势垒层非故意掺杂也是 . ’()*+ ［］ #/ 引 言 二维电子气的重要来源之一5 . 本文从引入 势垒层应变弛豫度 以区 ’()*+ 近年来， 族氮化