物理气相沉积硬质薄膜及在机械功能领域上的应用研究.pdfVIP

物理气相沉积硬质薄膜及在机械功能领域上的应用 代明江林松盛侯惠君李洪武朱霞高林凯生 (广州有色金属研究院．广东广州．51065I) 摘要；材料的磨损、腐蚀及其它环境损伤是机械工业面临的基本问题之一，近年来．由离子参与和等离 子体增强的各种气根沉积技术为解决这一问题提供了有效的途径。物理气相沉积(PVD)是制备硬质薄膜的生 要方法之一。许多技术已实现工业化生产。本文综述了物理气相沉积技术制备的各种机械功能薄膜的性能及应 用情况，并总结了广州有色金属研究院在这方面的研究开发工作。 关键词：物理气相沉积(PVD)：硬质薄膜；性能；应用：工模具 1． 前言n1 随着科学技术的进步和生产发展的要求，表面技术作为一门新兴的综合性学科，是具极高 使用价值的基础技术；20世纪80年代，其被列入世界lO项关键技术之一。现代表面技术主要 包括表面涂镀技术，表面改性技术和表面检测技术三大部分。其中，表面涂镀技术中以真空等 离子体为基础的的薄膜技术近年来发展十分迅猛，在生物、机械、化工、电子、光学等领域的 应用十分广泛。薄膜材料按功能用途可分为装饰功能薄膜、物理功能薄膜、机械功能薄膜和特 物系、碳化物系、氧化物系、硼化物系、硅化物系、金属合金系和金属系等。