传感技术(5压电).ppt

5 压电传感器 压电传感器是一种典型的有源传感器，又称自发电式传感器。其工作原理是基于某些材料受力后在相应的特定表面产生电荷的压电效应。压电传感器体积小、重量轻、结构简单、工作可靠，适应于动态力学测量，不适应于测频率太低的被测量，更不能测量静态量。目前多用于加速度和动态力或压力的测量。除此之外，因压电传感器是一个典型的机电转换元件，它在超声、水声换能器、拾音器、滤波器、压电引信、煤气点火具等方面的应用已很普遍。 5.1压电效应 有一些电介质，由于其晶体结构的特殊性，当沿一定方向受到外力作用时，内部产生极化现象（电介质内部晶格结构在外力场作用下，晶格的正、负电荷中心变得不重合，出现电偶极矩，从而产生了电极化），同时在某两个表面上产生极性相反的电荷；当外力去掉后，又恢复到不带电的状态；当作用力方向改变时，电荷极性也随之改变，晶体受力产生的电荷量与外力大小成正比，此现象称为正压电效应（顺压电效应）。反之，若给这样的晶体施加交变电场，晶体本身产生机械变形，这种现象称为逆压电效应（电致伸缩效应）。可以想象当外加电场以很高的频率按正弦规律变化时，压电元件的机械变形也将按正弦规律快速变化．使压电元件产生机械振动，超声波发射元件就是利用这种效应制作的。 力学量压电传感器是利用压电材料的正压电效应。在水声、超声、电声技术中，则利用逆压电效应制作换能器。 能产生压电效应的物质称为压电材料或压电晶体。压电晶体的正压电效应可用下式表示： Q=dF 式中：Q：压电晶体某个表面上的电荷量，单位C；F：外加作用力，单位N；d：压电系数，单位C/N。 由于压电晶体的各向异性，所以当受力方向和受力方式不同时，压电系数也不相同。一般用数字脚标来表示受力方向和产生压电效应的晶面。dij，j表示受力方向（j=1,2,…,6）,j=1,2,3分别表示晶体沿X、Y、Z轴方向承受单向应力，j=4,5,6分别表示晶体在YZ平面，ZX平面和XY平面上承受剪切应力；i表示电荷产生的晶面，i=1,2,3分别表示在垂直于X、Y、Z轴的晶片表面即X、Y、Z面上产生电荷。 5.2压电材料 压电材料可分为三大类：压电晶体、压电陶瓷、新型压电材料。压电晶体是一种单晶体，例如石英晶体、酒石酸钾钠、铌酸锂；压电陶瓷是一种人工制造经极化处理的多晶体，如：钛酸钡、锆钛酸铅；新型压电材料是新一代的压电材料，如聚偏二氟乙烯（PVF2）、压电橡胶等高分子有机物，以及压电半导体材料。 5.2.1压电晶体 压电晶体的种类很多，如：石英、酒石酸钾钠、电气石、磷酸铵、硫酸锂等。 1.石英（ SiO2 ）晶体 石英晶体是一种性能良好的压电材料。其绝缘性好，机械强度高，压电温度系数很小（20~200℃范围内，压电系数的变化率为-0.016%/ ℃ ），居里点高（575 ℃），自振频率高、动态特性好、迟滞小、重复性好，线性范围宽。但石英晶体资源少，价格高，压电常数小，所以多用于标准传感器、高精度传感器和高温环境的传感器。 2.石英晶体的压电效应机理 3.石英晶体的几何切型 石英晶体是各向异性体，在XYZ坐标系中，沿不同方位进行切割，就产生不同的几何切型。不同切型的晶片，其压电常数、弹性常数、介电常数、温度特性等参数皆不同。根据石英晶体在XYZ直角坐标系中的方位，可分成两大切族：X切族，Y切族。 X切族：原始厚度方向平行于晶体的X轴，长度方向平行于Y轴，宽度方向平行于Z轴。旋转某个角度后得出各种不同 几何切型，以xy表示。最常用的是原始切型xy（ x0o ）切型。 Y切族：原始厚度方向平行于晶体的Y轴，长度方向平行于X轴，宽度方向平行于Z轴。旋转某个角度后得出各种不同 几何切型，以yx表示。最常用的是原始切型yx（ y0o ）切型。 5.2.2压电陶瓷 压电陶瓷是一种经极化处理后的人工多晶铁电体。所谓“多晶”是由无数微细的单晶组成；所谓“铁电体”，它具有类似铁磁材料磁畴的“电畴”结构。每个单晶即一个单个电畴；无数单晶电畴的无规律排列，使原始的压电陶瓷呈现各向同性而不是压电性(左图)。要使之具有压电性，必须作极化处理，即在一定温度下对其施加强直流电场（20~30KV/cm），迫使“电畴”趋向外电场方向作规则排列(中图)。极化电场去除后，趋向电畴基本保持不变，形成很强的剩余极化，从而呈现压电性(右图)。对于压电陶瓷，通常将极化方向定义为Z轴，垂直于Z轴的平面内则各向同性。因此与Z轴正交的任何方向都可取作X轴和Y轴，