光学玻璃超声振动磨削亚表面损伤的试验研究.pdf

２０１７年第５１卷Ｎｏ．７ １５ 光学玻璃超声振动磨削亚表面损伤的试验研究 １ １ １ ２ 周明 ，黄铖 ，赵培轶 ，黄劭楠 １ ２ 哈尔滨工业大学；佳木斯大学 摘要：进行光学玻璃ＢＫ７超声振动辅助磨削试验，采用截面抛光法配合ＨＦ酸腐蚀法并通过扫描电子显微镜 观测获得亚表面裂纹的最大深度，研究了主轴转速、磨削深度、进给速度和超声振动振幅对亚表面损伤裂纹最大深 度的影响规律，分析了亚表面裂纹的几种形态及其成因。结果表明，随着主轴转速和超声振动振幅增大，磨削深度 及进给速度减小，亚表面最大裂纹深度明显减小。超声振动的引入改善了磨削时的加工条件，对提高加工表面及 亚表面的质量有一定帮助。 关键词：光学玻璃ＢＫ７；超声振动磨削；亚表面损伤 中图分类号：ＴＧ１１５；ＴＧ６１；ＴＨ１６１．３　　　　　　文献标志码：Ａ ＥｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌＩｎｖｅｓｔｉｇａｔｉｏｎｏｎＳｕｂｓｕｒｆａｃｅＤａｍａｇｅｓ ｉｎＵｌｔｒａｓｏｎｉｃＡｓｓｉｓｔｅｄＧｒｉｎｄｉｎｇｏｆＯｐｔｉｃａｌＧｌａｓｓ ＺｈｏｕＭｉｎｇ，ＨｕａｎｇＣｈｅｎｇ，ＺｈａｏＰｅｉｙｉ，ＨｕａｎｇＳｈａｏｎａｎ Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｕｌｔｒａｓｏｎｉｃａｓｓｉｓｔｅｄｇｒｉｎｄｉｎｇ（ＵＡＧ）ｔｅｓｔｓｏｆｏｐｔｉｃａｌｇｌａｓｓＢＫ７ａｒｅｃａｒｒｉｅｄｏｕｔ．Ｔｈｅｍａｘｉｍｕｍｄｅｐｔｈｏｆ ｓｕｂｓｕｒｆａｃｅｃｒａｃｋｓｉｓｍｅａｓｕｒｅｄｂｙｃｒｏｓｓｓｅｃｔｉｏｎｐｏｌｉｓｈｉｎｇａｎｄＨＦｅｔｃｈｉｎｇｍｅｔｈｏｄｗｉｔｈＳＥＭ．Ｔｈｅｉｎｆｌｕｅｎｃｅｒｕｌｅｓｏｆｓｐｉｎｄｌｅ ｓｐｅｅｄ，ｆｅｅｄｓｐｅｅｄ，ｇｒｉｎｄｉｎｇｄｅｐｔｈａｎｄｕｌｔｒａｓｏｎｉｃｖｉｂｒａｔｉｏｎａｍｐｌｉｔｕｄｅｏｎｔｈｅｍａｘｉｍｕｍｏｆｓｕｂｓｕｒｆａｃｅｃｒａｃｋｓａｒｅｏｂｔａｉｎｅｄ ｂａｓｅｄｏｎｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌｒｅｓｕｌｔｓ．Ｍｅａｎｗｈｉｌｅ，ｔｈｅｍｏｒｐｈｏｌｏｇｉｅｓａｎｄｃａｕｓｅｏｆｆｏｒｍａｔｉｏｎｏｆｓｕｂｓｕｒｆａｃｅｃｒａｃｋｓａｒｅａｎａｌｙｚｅｄ．Ｔｈｅ ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌａｎｄａｎａｌｙｔｉｃａｌｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔｔｈｅｍａｘｉｍｕｍｄｅｐｔｈｏｆｓｕｂｓｕｒｆａｃｅｃｒａｃｋｓｉｓｄｅｃｒｅａｓｅｄｏｂｖｉｏｕｓｌｙｗｉｔｈｉｎｃｒｅａｓｅ ｏｆｓｐｉｎｄｌｅｓｐｅｅｄａｎｄｕｌｔｒａｓｏｎｉｃｖｉｂｒａｔｉｏｎａｍｐｌｉｔｕｄｅａｎｄａｄｅｃｒｅａｓｅｉｎｆｅｅｄｓｐｅｅｄａｎｄｇｒｉｎｄｉｎｇｄｅｐｔｈ．Ｔｈｅｉｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎｏｆｕｌ ｔｒａｓｏｎｉｃｖｉｂｒａｔｉｏｎｉｎｔｏｔｈｅｇｒｉｎｄｉｎｇｐｒｏｃｅｓｓｉｍｐｒｏｖｅｓｍａｃｈｉｎｉｎｇｃｏｎｄｉｔｉｏｎｓ，ｗｈｉｃｈｉｓｈｅｌｐｆｕｌｔｏｉｍｐｒｏｖｅｔｈｅｍａｃｈｉｎｅｄｓｕｒｆａｃｅ ａｎｄｓｕｂｓｕｒｆａｃｅｑｕａｌｉｔｙ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｏｐｔｉｃａｌｇｌａｓｓＢＫ７；ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃａｓｓｉｓｔｅｄｇｒｉｎｄｉｎｇ；ｓｕｂｓｕｒｆａｃｅｄａｍａｇｅ 陷，对其使用性能及寿命等都造成较大影响，同时也 　引言 ［１－４］ 增加了后续研抛工艺的时间与难度 。 光学玻璃具有稳定的物理化学性能和高度的光