原子力显微镜-复旦大学物理教学中心fudanphysics.pptVIP

原子力显微镜实验 0529003 杨悦 合作者：李自龙 原子力显微镜简介 历史 原子力显微镜是由IBM公司苏黎世研究中心的Gerd Binnig与斯坦福大学的Calvin Quate于一九八五年所发明的，其目的是为了使非导体也可以采用类似扫描探针显微镜（SPM）的观测方法。 原子力显微镜简介 原子力显微镜简介 原理： 直接探测针尖与样品表面之间的微小作用力！ ——具体的相互作用形式取决于AFM的工作模式。 原子力显微镜简介 原子力显微镜简介 针尖 AFM的工作模式： 2.非接触模式 3.轻敲模式 实验内容 1.实验室样品的扫描和测量 2.自备样品的扫描 3.AFM各参数对成像质量的影响 图像的产生 二维方格 二维网格 周期圆孔 一维结构 胶带纸表面 树叶表面 DVD光碟表面 成像质量研究 影响成像质量的因素： 1.P-Gain 2.I-Gain 3.扫描速度 成像质量研究 P-Gain和I-Gain的含义： 成像质量研究 成像质量研究 成像质量研究 成像质量研究 解决办法：必须考虑误差的历史 →引入I-Gain 成像质量研究 成像质量研究 成像质量研究 成像质量研究 成像质量研究 扫描速度与增益值的配合 成像质量研究 成像质量研究 扫描速度越快，误差积累越快。 增益小：来不及调节。 增益大：过度调节。 建议：扫描速度低于0.5s/line,P-Gain值为10，I-Gain值为10~11 成像质量研究 成像质量研究 谢谢！ t=0.2s/line I-Gain=9 t=0.2s/line I-Gain=11 t=0.8s/line I-Gain=9 t=0.8s/line I-Gain=11 未知原因的波纹： * * * * Gerd Binnig The Nobel Prize in Physics 1986 Calvin Quate 扫描头 高度调节螺丝 载物台 放大镜 位置灵敏探测器 样品表面 1.接触模式 库仑排斥力 样品表面 范德华吸引力 样品表面 不受力→接近共振→大振幅 受力→远离共振→小振幅 样品表面 针尖轨迹 扫描方向 针尖高度 周期：9.58μm（参考值：未知）； 台阶高度：0.117μm（参考值：未知）。 周期：1.53μm（参考值：1.667±0.02μm）； 台阶高度：0.32μm（参考值：0.33±0.02μm）。 周期：5.85μm（参考值：未知）； 台阶高度：0.547μm（参考值：未知）。 周期：0.266μm（参考值：0.278±0.01μm）； 台阶高度：0.0407μm（参考值：0.05±0.01μm）。 表面光轨间距：0.76μm（参考值：0.74μm）。 setpoint 样品表面 实际轨迹 P-Gain的效果： 样品表面 实际轨迹 P-Gain过大的后果： 样品表面 实际轨迹 setpoint A B C P-Gain的系统误差： I-Gain的效果： 样品表面 实际轨迹 setpoint A B C I-Gain=9 I-Gain=10 I-Gain太小： I-Gain过大： 过度调节的证据 样品表面 实际轨迹 setpoint I-Gain的过度调节： * *