真空紫外光谱仪操作说明书.pdf

真空紫外光谱仪操作说明书 北京航天宏达光电技术有限公司 2002 年3月18日 前 言 前 言 前前 言言 紫外光（UV）是由近紫外线、远紫外线和真空紫外线三个波段 的光组成，其波长一般都在380nm以下，如果UV 的波长在200nm 以下，在大气中极易被空气所吸收，所以该波段的紫外光只有在真空 中才能存在，才能进行较长距离的传播，因此通常把200nm ~ 30nm 这一波段的紫外光称为真空紫外光。 一般的光谱仪是在正常的大气条件下工作，由于空气的吸收作 用，就不能测试这一波段的紫外光。而真空紫外光谱仪是在真空室抽 真空的条件下工作的，满足了真空紫外光传播的条件，可以进行该波 段的UV 光谱和相关光学材料有关性能的测试。 该真空紫外光谱仪是在真空紫外单色仪的基础上，采用微机控制 步进电机驱动光栅扫描机构，在真空条件下实现从50nm~ 300nm波 长UV 光的测试，并能自动打印出测试结果和测试的光谱曲线。如果 测试光学玻璃对真空紫外线的透射率，微机也可以直接计算出结果、 打印出数据。该仪器备有附加灯室，可以测试不同规格的紫外光源。 1 主要技术指标 工作波段 50nm~300nm ； 光谱分辨率 0.05nm ； 波长重复性 0.05nm ； 波长精度 0.05nm 。 1 2 光谱仪的工作原理及组成 真空紫外线在大气中能与空气中的氧气起光化学反应，生成臭氧 和原子氧，而臭氧又能吸收远紫外线（波长为 253.7nm），生成氧气 和活性原子氧，从而使真空紫外线在通过大气层时被吸收，并且紫外 线的波长越短通过空气的距离越长，被吸收的就越多，这就是阳光中 的波长为200nm 以下的真空紫外线在到达地面时，已基本上没有辐 射强度了的原因。根据这一原理，真空紫外光谱仪是设计在真空室内 进行UV 的测试，并且随着被测光的波长越短而真空室的真空度要求 越高。 真空紫外光谱仪由30W 的氟化镁窗口氘灯光源、一米真空紫外 光栅单色仪、样品室、水扬酸钠荧光屏、EMI19558QB 光电倍增管及 其高压电原组成，其中一米真空紫外光栅单色仪包括入射狭缝、出射 狭缝、凹面光栅（刻线密度1200g/mm、曲率半径1m）、光栅扫描驱 动机构、主真空室、超高真空阀、扩散泵、真空阀及前级机械泵。光 2 的出入路径及机械结构如图1、图2所示。 氘灯由直流电源供电，电压约70伏，电流300毫安，电流稳定 度好于0. 1% h。氘灯辐射经单色仪的入射狭缝投射到凹面光栅，由 凹面光栅色散变为单色光，并以会聚光的形式投射到出射狭缝。光栅 转动时，不同波长的单色光就依次经出射狭缝和待测样品投射到光电 倍增管并转变为光电信号，形成氘灯光源的真空紫外光电光谱。光电 倍增管最高工作电压为1800伏，最佳工作电压为1200~1400伏，由 2 电压稳定度好于0.05%h的直流高压稳压电源供电 ,由于光电倍 增管只对可见光响应，因而在光电倍增管的前面加一个水扬酸钠荧光 屏，将真空紫外辐射转变为可见光，便于光电倍增管接收，把光信号 转变为电压信号输入数字电压表，显示出的电压表示测试的真空紫外 线强度的大小，同时将该电压信号通过IEEE 488 接口输入计算机进 行处理，可以打印出被测的真空紫外线的光谱曲线，以及分析出被测 样品的透射率等光学特性。 3 控制面板操作程序 3.1 先装好待测光源和待测材料（在主真空室的左侧入射接口装光 源，右侧测量接口装待测材料），再装好光电倍增管的暗盒。 3.2 按测试说明接好所有测试议器的电源接口，合上主真空室，上 紧三个大螺栓，合上机内配电盘上的空气开关，按总电源按钮 S11, 指示灯（