电真空器件钼制零件开裂原因分析研究.pdfVIP

·技术交流· 电真空器件钼制零件开裂原因分析 陈 燕 (北京真空电子技术研究所，北京100016) Reasons of PartsforVacuumElectronicDevices Cracking AnalysisMolybdenum CHENYan VacuumElectronicsResearch (Beijing Institute，Beijing100016，China) Abstract：The of forvacuumelectronic ana— crackingphenomenamolybdenumparts inthis ofthematerials and and standardstech— lyzed paper．Fromaspect checkingmethods，checkingaccepting effectivemeasures the criteria，several toavoid of were nology crackingphenomenamolybdenumparts suggest— ed． words：Vacuumelectronic Key devices；Molybdenumparts；Cracking 摘要：针对电真空器件的钼制零件在实际使用过程中出现的开裂现象进行了分析，并从材料的检验方法、验收标准、工艺 规范等几个方面提出了改进的措施。 关键词：电真空器件；钼制零件；开裂 中图分类号：TB756文献标识码：A 文章编号：1002—8935(2006)04—0092—05 电真空器件由于其结构和工作的特殊性，既要 此处给出3种零件开裂实例。这三种零件的工 在一定时期内(几年甚至十几年)保持良好的真空 艺流程大致相同，但不论是采用进口料还是国产料 度，同时也要在工作期间保证良好的结构参数和支 制成的零件力n-r_过程中均出现过开裂现象。 撑强度，因此，对电真空器件所用各种材料的性能必 (1)栅网：用睨5mm的棒料，经退火去应力后， 须有严格的要求。从保证真空条件来说，要求气密 车床加工成外径为眈1mm、璧厚为1mm的碗状， 性好，放气量少，容易去气；从保证工作稳定性和可 底部厚度为0．25mm，底部经电火花分三圈由内到 靠性来说，要求熔点高、热膨胀系数小，热强度和热 外分别打5个①1．7mm孔、10个01．7mm孔、3个 稳定性好；从制造角度来说，要求有良好的可加工 ①2．0mm孔。采用国产料加工而成的零件装机加 性、可朔性及焊接性能等。 热后，底部内两圈的小孔密集处的筋出现断裂。经 由于难熔金属中的钼材具有其它材料无法替代 过对开裂零件的金相分析发现零件的再结晶晶粒较 的电真空性能，故使它在电真空器件中得到了更广 大，裂纹呈穿晶和晶间断裂，见图1、2。 泛的应用。它主要用于电真空器件的聚焦极、内支 (2)栅极：用dPl2mm的进口棒材，加工成与上 筒、外支筒、栅极、阴极筒、阴极座、栅网、栅网筒、外 述栅网形似的栅极零件。经过对开裂零件的金相分 热屏、阴影栅、控制栅等的制造。