一种硅微振动角速度传感器.pdfVIP

第 卷第 期 功能材料与器件学报 _ ’ 24L- _, ?4- ’ 年 月 ’##’ + ‘I8Z?:a Ib b8?X]RI?:a c:]UZR:a; :?M MU2RXU; ‘CN, ’##’ 文章编号! ##$ % ’(’ ) ’##’ * #’ % # + % # 一种硅微振动角速度传感器 ’ 苏 岩 杨拥军 王寿荣 周百令 , , , ) 东南大学仪器科学与工程系 南京 - , ’ ##.+/ 河北半导体研究所 石家庄 * ’- , #(##( 摘要 介绍了一种静电驱动、电容检测单自由度硅微振动角速度传感器实验样机的结构、工作原 ! 理、加工方法、驱动方法、检测方法和实验结果。实验结果表明，该角速度传感器实验样机已具有 一定的性能 其灵敏度为 ) 4 ·% * / 量程为 4 线性度 。 , ! 0- ’12 3 5 ! 6 (## 3 5/ ! 7 关键词 角速度传感器 静电驱动 电容检测 ! / / 中图分类号! 8+++- ’ 9 0 文献标识码! : ! #$#%’ (#%) * (+%,-’#%-$ .#/)-0)1 -’23$-) )-0+ +’) ’ ;8 = , :?@ 4A % BC , D:?@ ;E4C % F4A , GHI8 J=K % LKA ) - MNO=FP1NP 4Q R5PFC1NP ;SKNSN =T UAKNNFKA, ;4CPEN=5P 8KVNF5KPW, ?=BKA ’ ##.+, XEK=/ ’- HNYNK ;N1KS4TCSP4F ZN5N=FSE R5PKPCPN, ;EKBK=[EC=A #(##( , XEK= * !/0)-%0! : N\ PWON 4Q 5KLKS4 1KSF4 % 1NSE=KS=L VKYF=P4FW =ACL=F F=PN 5N54F \KPE NLNSPF45P=PKS TFKVKA =T S=O=SKP=SN TNPNSPK4 \=5 OFN5NPNT- ]EN 5PFCSPCFN =T OFKSKOLN 4Q PEN =ACL=F F=PN 5N54F \=5 TK5SC55NT- ]EN OF4P4PWON \=5 Q=YFKS=PNT- ]EN Q=YFKS=PK4 1NPE4T, TFKVKA =T TNPNSPKA SKFSCKP =5 \NLL =5 PEN FN5CLP5 4Q PEN N^ONFK1NP \NFN